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Revêtement en carbure de tantale

VeTek semiconductor est l'un des principaux fabricants de matériaux de revêtement en carbure de tantale pour l'industrie des semi-conducteurs. Nos principales offres de produits comprennent des pièces de revêtement en carbure de tantale CVD, des pièces de revêtement TaC frittées pour la croissance cristalline de SiC ou le processus d'épitaxie de semi-conducteurs. Ayant passé la norme ISO9001, VeTek Semiconductor a un bon contrôle de la qualité. VeTek Semiconductor s'engage à devenir un innovateur dans l'industrie des revêtements en carbure de tantale grâce à la recherche et au développement continus de technologies itératives.


Les principaux produits sontAnneau de guidage revêtu de TaC, Anneau de guidage à trois pétales avec revêtement CVD TaC, Demi-lune revêtue de carbure de tantale TaC, Suscepteur épitaxial planétaire SiC à revêtement CVD TaC, Anneau de revêtement en carbure de tantale, Graphite poreux recouvert de carbure de tantale, Suscepteur de rotation du revêtement TaC, Bague en carbure de tantale, Plaque de rotation de revêtement TaC, Suscepteur de plaquette revêtue de TaC, Anneau déflecteur avec revêtement TaC, Couverture de revêtement CVD TaC, Mandrin à revêtement TaCetc., la pureté est inférieure à 5 ppm, peut répondre aux exigences des clients.


Le graphite de revêtement TaC est créé en recouvrant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). L'avantage est illustré dans l'image ci-dessous :


Excellent properties of TaC coating graphite


Le revêtement en carbure de tantale (TaC) a attiré l'attention en raison de son point de fusion élevé allant jusqu'à 3 880 °C, de son excellente résistance mécanique, de sa dureté et de sa résistance aux chocs thermiques, ce qui en fait une alternative intéressante aux processus d'épitaxie de semi-conducteurs composés avec des exigences de température plus élevées. tels que le système Aixtron MOCVD et le processus d'épitaxie LPE SiC. Il a également une large application dans le processus de croissance cristalline SiC de la méthode PVT.


Principales fonctionnalités:

 ●Stabilité de la température

 ●Ultra haute pureté

 ●Résistance à H2, NH3, SiH4,Si

 ●Résistance au stock thermique

 ●Forte adhérence au graphite

 ●Couverture du revêtement conforme

 ● Taille jusqu'à 750 mm de diamètre (le seul fabricant en Chine atteint cette taille)


Applications:

 ●Support de plaquette

 ● Suscepteur de chauffage inductif

 ● Élément chauffant résistif

 ●Disque satellite

 ●Pommeau de douche

 ●Bague de guidage

 ●Récepteur LED Epi

 ●Buse d'injection

 ●Anneau de masquage

 ● Bouclier thermique


Revêtement en carbure de tantale (TaC) sur une section microscopique:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Paramètre du revêtement en carbure de tantale VeTek Semiconductor:

Propriétés physiques du revêtement TaC
Densité 14,3 (g/cm³)
Émissivité spécifique 0.3
Coefficient de dilatation thermique 6.3 10-6/K
Dureté (HK) 2000 Hong Kong
Résistance 1×10-5Ohm*cm
Stabilité thermique <2500℃
Modifications de la taille du graphite -10~-20um
Épaisseur du revêtement Valeur typique ≥20um (35um±10um)


Données EDX du revêtement TaC：

EDX data of TaC coating


Données sur la structure cristalline du revêtement TaC:

Élément Pourcentage atomique
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Moyenne
CK 52.10 57.41 52.37 53.96
Eux 47.90 42.59 47.63 46.04


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Bague en revêtement TAC pour la croissance PVT de SIC monocristal

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En tant que l'un des principaux fournisseurs de produits de revêtement TAC en Chine, Vetek Semiconductor est en mesure de fournir aux clients des pièces personnalisées en revêtement TAC de haute qualité. La bague enrobée de TAC pour la croissance en PVT de SIC monocristal est l'un des produits les plus remarquables et matures de Vetek Semiconductor. Il joue un rôle important dans la croissance PVT du processus de cristal SIC et peut aider les clients à développer des cristaux de SiC de haute qualité. Dans l'attente de votre demande.
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CVD TAC enduit de guide à trois pétenles

CVD TAC enduit de guide à trois pétenles

Vetek Semiconductor a connu de nombreuses années de développement technologique et a maîtrisé la technologie de processus principale du revêtement TAC CVD. Le cycle de guidage à trois petal enduit de CVD TAC est l'un des produits de revêtement CVD TAC les plus matures de Vetek Semiconductor et est un composant important pour préparer les cristaux SIC par méthode PVT. Avec l'aide de Vetek Semiconductor, je crois que votre production de cristal SIC sera plus lisse et plus efficace.
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Tantalum Carbure de carbure d'anneau

Tantalum Carbure de carbure d'anneau

Vetek Semiconductor Tantalum Carbide Rebatide Ring est un composant indispensable dans l'industrie des semi-conducteurs, en particulier dans la gravure des plaquettes SIC. Sa combinaison d'une base de graphite et d'un revêtement TAC assure des performances supérieures dans des environnements à haute température et chimiquement agressifs. Avec sa stabilité thermique améliorée, sa résistance à la corrosion et sa résistance mécanique, l'anneau revêtu de carbure de tantale aide les fabricants de semi-conducteurs à obtenir une précision, une fiabilité et des résultats de haute qualité dans leurs processus de production.
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Bague de revêtement TAC

Bague de revêtement TAC

Le cycle de revêtement TAC est une composante haute performance conçue pour une utilisation dans les processus semi-conducteurs, le cycle de revêtement TAC semi-conducteur VETEK a une stabilité thermique élevée, une résistance à la corrosion chimique et une excellente résistance mécanique et est spécifiquement utilisé pour maintenir et prendre en charge les gaufrettes SIC pendant le processus de gravure, où le contrôle précis et la durabilité sont essentiels pour atteindre des plaquettes de haute qualité. Nous attendons avec impatience votre nouvelle consultation.
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TAC CURIBUCTION CUCIBLE

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En tant que fournisseur et fabricant de creuset professionnel de TAC en Chine, le revêtement TAC de Vetek Semiconductor joue un rôle irremplaçable dans le processus de croissance monocristalliste des semi-conducteurs avec son excellente conductivité thermique, sa stabilité chimique exceptionnelle et sa résistance accrue à la corrosion. Bienvenue à vos autres demandes.
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Anneau de guidage recouvert de carbure de tantale

Anneau de guidage recouvert de carbure de tantale

En tant que fournisseur et fabricant de guide de revêtement TAC de tête de Chine, le fabricant de Vetek Semiconductor Tantalum Carbide revêtu de guidage est un composant important utilisé pour guider et optimiser l'écoulement des gaz réactifs dans la méthode PVT (transport physique de vapeur). Il favorise le dépôt uniforme de monocristaux SIC dans la zone de croissance en ajustant la distribution et la vitesse du débit de gaz. Vetek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et fournisseurs d'anneaux de guide de revêtement TAC en Chine et même dans le monde, et nous attendons avec impatience votre consultation.
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En tant que fabricant et fournisseur professionnel Revêtement en carbure de tantale en Chine, nous avons notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter avancé et durable Revêtement en carbure de tantale en Chine, vous pouvez nous laisser un message.
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