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Demi-lune revêtue de carbure de tantale TaC
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Demi-lune revêtue de carbure de tantale TaC

Les pièces en demi-lune recouvertes d'un revêtement CVD TaC sont plus durables que les pièces en demi-lune revêtues de SiC.VeTek Semiconductor est le principal fabricant et fournisseur en Chine de demi-lune revêtue de carbure de tantale TaC, nous nous sommes spécialisés dans la R&D et la production, pouvons bien contrôler la qualité et offrir un prix compétitif. prix. Vous êtes invités à visiter notre usine pour une discussion plus approfondie sur une coopération à long terme.

VeTek Semiconductor est un fabricant et fournisseur professionnel de demi-lune à revêtement TaC en carbure de tantale en Chine. VeTek Semiconductor propose une demi-lune revêtue de carbure de tantale TaC, qui joue un rôle de support et de transport dans le processus d'épitaxie du carbure de silicium. Elle soutient non seulement le substrat, mais fournit également une base plate, permettant à l'épitaxie de se développer uniformément sur celui-ci.

La qualité et les performances de la partie demi-lune affectent directement la qualité et les performances de la tranche pendant le processus épitaxial du carbure de silicium. Par conséquent, la conception et la sélection de la partie demi-lune appropriée est cruciale pour le succès du processus épitaxial SIC. La demi-lune revêtue de carbure de Tantalum fabriqué par le semi-conducteur de Vetek peut améliorer sa résistance à haute température, sa résistance à la corrosion et sa résistance à l'usure, améliorant considérablement la stabilité et la durée de vie de la composante demi-lune pendant le processus de croissance.


Paramètre du revêtement en carbure de tantale :

Propriétés physiques du revêtement TAC
Densité 14.3 (g / cm³)
Émissivité spécifique 0.3
Coefficient de dilatation thermique 6,3 × 10-6/ K
Dureté (HK) 2000 Hong Kong
Résistance 1 × 10-5Ohm*cm
Stabilité thermique <2500 ℃
Modifications de la taille du graphite -10 ~ -20UM
Épaisseur du revêtement Valeur typique ≥20UM (35UM ± 10UM)


Avantages de notre demi-lune revêtue de carbure de tantale TaC :

1. Résistance à haute température

2. Ressentiel de la corrosion élevée

3. Haute dureté et résistance à l'usure

4. Bonne conductivité thermique

5. Bonne inertie chimique


Comparez l'atelier de production de semi-conducteurs:

VeTek Semiconductor Production Shop


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