Bague de guidage en graphite enduit TAC

Le cycle de guide de graphite enduit de TAC (carbure de tantale) est un composant critique utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans des processus tels que le dépôt épitaxial et la gravure du plasma. Ces anneaux sont conçus pour contenir et positionner en toute sécurité les tranches de silicium, garantissant un alignement et une stabilité précis dans des environnements chimiques à haute température et durs. Nos anneaux de guidage sont conçus pour répondre aux exigences strictes de la fabrication moderne des semi-conducteurs, contribuant à améliorer les rendements de processus et la qualité des plaquettes.

Composition du matériau et propriétés physiques

Le cœur de notre cycle de guide en graphite enduit TAC est un anneau de graphite de haute pureté, qui est ensuite recouvert d'une couche de carbure de tantale (TAC).

Substrat de graphite:

Le graphite offre plusieurs avantages clés. Il a une excellente stabilité thermique, résistant à la déformation à des températures élevées courantes dans le traitement des semi-conducteurs. Sa nature légère minimise la masse thermique, permettant des cycles de chauffage et de refroidissement rapides. Le graphite de haute pureté empêche également la contamination de la chambre de processus.

Revêtement TAC CVD:

Le revêtement en carbure de tantale est la clé de la performance supérieure de la bague. Le TAC est un matériau en céramique extrêmement dur, offrant une résistance à l'usure exceptionnelle et une inertie chimique. Il protège le graphite sous-jacent du plasma agressif et des gaz corrosifs, étendant considérablement la durée de vie de l'anneau. Ce revêtement empêche également les particules de perdre, ce qui est crucial pour maintenir un environnement de processus propre et empêcher les défauts de la surface de la plaquette.

Le rôle des anneaux de guidage dans le traitement des plaquettes

Notre anneau de guidage enduit TAC joue un rôle vital pour assurer la qualité et l'efficacité de la fabrication de semi-conducteurs.

● Alignement et stabilité de la tranche: Pendant la croissance épitaxiale ou la gravure, l'anneau de guidage maintient la tranche en position précise. Cela empêche la tranche de décalage, ce qui est essentiel pour le dépôt de couche uniforme et le transfert précis de motif sur toute la surface de la plaquette.

● Gestion thermique: Les propriétés thermiques du revêtement en graphite et en carbure de tantale permettent une distribution et une gestion de chaleur efficaces. Ceci est essentiel pour maintenir un profil de température uniforme à travers la tranche, ce qui est nécessaire pour une épaisseur de film et des propriétés de matériau cohérentes.

● Contrôle de la contamination: Les matériaux de haute pureté et le revêtement TAC durable minimisent la génération de particules et le dégazage. Cela réduit le risque de contamination et de défauts de la tranche, conduisant à un rendement et à une fiabilité plus élevés.

● Durée de vie des composants prolongés: Le revêtement robuste en carbure de tantale offre une excellente résistance à l'érosion du plasma et à l'attaque chimique. Cela prolonge la durée de vie opérationnelle de l'anneau de guidage, réduisant les temps d'arrêt de la maintenance et réduisant le coût total de possession.