TAC en revêtement de la plaquette

Le Vetek Semiconductor TAC revêtu de la plaquette en revêtement est un composant clé utilisé dansDépôt de vapeur chimique métal-organique (MOCVD)réacteurs pourProcessus épitaxiaux semi-conducteurs (EPI). Cette base ronde spécialisée est fabriquée à partir de graphite de haute qualité et est recouverte d'une couche de carbure de tantale (TAC), qui est bien connue pour ses propriétés thermiques et chimiques exceptionnelles.

La fonction principale du revêtement TAC est d'améliorer les performances et la durabilité du suscepteur de la plaque dans les conditions difficiles de la fabrication de semi-conducteurs. Le carbure de tantale est célèbre pour sa dureté, son point de fusion élevé et sa résistance à l'usure exceptionnelle, ce qui en fait la couche de protection idéale. Ce revêtement protège la base de graphite sous-jacente des réactions chimiques corrosives et des contraintes mécaniques qui se produisent à l'intérieurRéacteurs MOCVD, prolonger la durée de vie de l'équipement et améliorer la fiabilité.

Au cours de la croissance épitaxiale des matériaux semi-conducteurs, le suscepteur de la plaque en revêtement TAC joue un rôle vital en assurant un dépôt de film précis. Sa résistance à des températures élevées et à des environnements chimiques durs est essentiel pour la production précise de dispositifs semi-conducteurs, permettant à l'équipement de fonctionner de manière stable dans des conditions de processus exigeantes.

La combinaison d'unnoyau de graphiteetRevêtement TACAssure une distribution de chaleur uniforme à travers le suscepteur, ce qui est essentiel pour améliorer la répétabilité et la qualité des couches de semi-conducteurs cultivées pendant le processus MOCVD. Cette conception de matériaux avancée fournit non seulement une durabilité, mais répond également aux exigences strictes de la fabrication de semi-conducteurs modernes pour les composants électroniques haute performance.

En tant que fournisseur et fabricant de premier plan de suscepteurs de gaufres enduits de TAC, Vetek Semiconductor s'engage à fournir des solutions techniques de haute qualité pour l'industrie des semi-conducteurs. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire de confiance à long terme en Chine, offrant des produits fiables et personnalisés.

Vetek Semiconductor TAC revêtu de suscepteur de gaufrettes: