Assiette de support de piédestal de revêtement TAC

Vetek Semiconductor est le fabricant et le fournisseur de Chine qui produit principalement des suscepteurs de revêtement TAC CVD, une bague d'entrée, un chunck de la plaquette, un porte-revêtement TAC, une assiette de support de piédestal de revêtement TAC avec de nombreuses années d'expérience. J'espère établir des relations commerciales avec vous.

Les céramiques TAC ont un point de fusion jusqu'à 3880 ℃, une dureté élevée (dureté Mohs 9 ~ 10), une grande conductivité thermique (22W · M^-1· K⁻¹), une grande résistance à la flexion (340 ~ 400MPA) et un petit coefficient de dilatation thermique (6,6 × 10⁻⁶K⁻¹), et montrent une excellente stabilité thermochimique et d'excellentes propriétés physiques. Il a une bonne compatibilité chimique et mécanique avec le graphite et les matériaux composites C / C, de sorte que le revêtement TAC est largement utilisé dans la protection thermique aérospatiale, la croissance monocristalline et les réacteurs épitaxiaux comme Aixtron, le réacteur LPE EPI dans l'industrie des semi-conducteurs. 

Le graphite en revêtement TAC a une meilleure résistance à la corrosion chimique que le graphite à encre en pierre nue ou le graphite enduit de sic, peut être utilisé de manière stable à 2200 ° à haute température, ne réagit pas avec de nombreux éléments métalliques, est la troisième génération de la meilleure croissance de la meilleure performance, peut améliorer la température et la préparation de la viaté Wafers. Il convient particulièrement à la culture du GAN ou du monocristal ALN dans l'équipement MOCVD et le monocristal SIC dans l'équipement PVT, et la qualité du monocristal cultivé est évidemment améliorée.