Céramiques de carbure de silicium

VeTek Semiconductor est votre partenaire innovant dans le domaine du traitement des semi-conducteurs. Grâce à notre vaste gamme de combinaisons de matériaux céramiques en carbure de silicium de qualité semi-conducteur, nos capacités de fabrication de composants et nos services d'ingénierie d'application, nous pouvons vous aider à surmonter des défis importants. Les céramiques techniques en carbure de silicium sont largement utilisées dans l'industrie des semi-conducteurs en raison de leurs performances matérielles exceptionnelles. Les céramiques de carbure de silicium ultra-pures de VeTek Semiconductor sont fréquemment utilisées tout au long du cycle de fabrication et de traitement des semi-conducteurs.

DIFFUSION ET TRAITEMENT LPCVD

VeTek Semiconductor fournit des composants en céramique technique spécialement conçus pour les exigences de diffusion par lots et de LPCVD, notamment :

• Déflecteurs et supports
• Injecteurs
• Revêtements et tubes de traitement
• Palettes en porte-à-faux en carbure de silicium
• Bateaux à plaquettes et socles

Pagaie en porte-à-faux SiC Tubes de traitement SiC Tube de processus en carbure de silicium Bateau à plaquettes vertical SiC Bateau à plaquettes horizontal SiC Bateau à plaquettes carrées horizontales SiC Bateau à plaquettes SiC LPCVD Bateau à plaque horizontale SiC Bague d'étanchéité en céramique SiC

COMPOSANTS DU PROCESSUS DE GRAVURE

Minimisez la contamination et la maintenance imprévue grâce à des composants de haute pureté conçus pour les rigueurs du traitement de gravure au plasma, notamment :

COMPOSANTS DE TRAITEMENT THERMIQUE RAPIDE ET DE PROCÉDÉ ÉPITAXIAL

VeTek Semiconductor fournit des composants matériels avancés adaptés aux applications de traitement thermique à haute température dans l'industrie des semi-conducteurs. Ces applications englobent les processus RTP, Epi, la diffusion, l'oxydation et le recuit. Nos céramiques techniques sont conçues pour résister aux chocs thermiques, offrant des performances fiables et constantes. Grâce aux composants de VeTek Semiconductor, les fabricants de semi-conducteurs peuvent réaliser un traitement thermique efficace et de haute qualité, contribuant ainsi au succès global de la production de semi-conducteurs.