Graphite poreux recouvert de carbure de tantale (TaC) pour la croissance des cristaux SiC

Le graphite poreux recouvert de carbure de tantale VeTek Semiconductor est conçu pour optimiser l'environnement de croissance des cristaux SiC grâce à quatre fonctions techniques principales :

● Filtration des composants de vapeur: La structure poreuse précise agit comme un filtre de haute pureté, garantissant que seules les phases vapeur souhaitées contribuent à la formation des cristaux, améliorant ainsi la pureté globale.

● Contrôle précis de la température: Le revêtement TaC améliore la stabilité thermique et la conductivité, permettant des ajustements plus précis des gradients de température locaux et un meilleur contrôle des taux de croissance.

● Direction d'écoulement guidée: La conception structurelle facilite un flux guidé de substances, garantissant que les matériaux sont livrés exactement là où ils sont nécessaires pour favoriser une croissance uniforme.

● Contrôle efficace des fuites: Notre produit offre d'excellentes propriétés d'étanchéité pour maintenir l'intégrité et la stabilité de l'atmosphère de croissance.

Propriétés physiques du revêtement TaC

Comparaison avec le graphite traditionnel

Revêtement en carbure de tantale (TaC) sur une coupe microscopique

Impact sur l'application : minimisation des défauts dans le processus PVT

Dans le processus PVT (Physical Vapor Transport), le remplacement du graphite conventionnel par le graphite poreux revêtu de TaC de VeTek résout directement les défauts courants illustrés dans le diagramme :

● Eéliminer les inclusions de carbone: En agissant comme une barrière aux particules solides, il élimine efficacement les inclusions de carbone et réduit les microtuyaux courants dans les creusets traditionnels.

● Préserver l’intégrité structurelle: Il empêche la formation de piqûres de gravure et de microtubules lors de la croissance à long cycle d'un monocristal de SiC.

● Rendement et qualité supérieurs: Par rapport aux matériaux traditionnels, les composants revêtus de TaC garantissent un environnement de croissance plus propre, ce qui se traduit par une qualité cristalline et un rendement de production nettement supérieurs.