Suscepteur revêtu de carbure de tantale CVD (TaC)

Principales fonctionnalités

Applications

Les applications typiques incluent :

• Croissance épitaxiale SiC

• Épitaxie GaN MOCVD

• Croissance épitaxiale AlN

• Fabrication de semi-conducteurs de troisième génération

• Électronique haute puissance

• Appareils RF

• Production de microLED

• Systèmes de recherche et de production pilote

Équipement compatible

Les plates-formes compatibles incluent :

•Aixtron

• LPE

• Véco

•AMEC

• NuFlare

• Réacteurs CVD et MOCVD personnalisés

Également disponible :

• Supports de plaquettes

• Suscepteurs planétaires

• Suscepteurs de baril

• Disques de rotation

• Pièces demi-lune

• Plaques de recouvrement

• Assemblages de graphite

• Composants de champ thermique personnalisés

Spécifications techniques

Foire aux questions

1. Qu'est-ce qu'un suscepteur à revêtement CVD TaC ?

Un composant en graphite de haute pureté protégé par un revêtement CVD TaC dense utilisé comme support de tranche pendant la croissance épitaxiale.

2. Pourquoi utiliser le cacao TaCrevêtement au lieu du revêtement SiC ?

Le TaC offre une résistance aux températures plus élevées, une stabilité chimique supérieure et une durée de vie plus longue.

3.Quels processus semi-conducteurs utilisent TaC-cdes suscepteurs avoines ?

Épitaxie SiC, GaN MOCVD, épitaxie AlN et autres procédés de croissance cristalline à haute température.

4. VETEK peut-il fabriquer des suscepteurs personnalisés ?

Oui. Nous proposons des conceptions personnalisées basées sur les dessins du client et les exigences du processus.

5. Quelles marques de réacteurs sont prises en charge ?

Aixtron, LPE, Veeco, AMEC, NuFlare et autres systèmes grand public.