Plaque de rotation de revêtement TAC

La plaque de rotation de revêtement TAC de Vetek Semiconductor a une composition de haute pureté, un contenu d'impureté de moins de 5 ppm et une structure dense et uniforme, qui est largement utilisée dans les systèmes LPE EPI, les systèmes Aixtron, les systèmes nuflare, les systèmes Tel CVD, les systèmes Veeco, les systèmes TSI.

● Excellentes propriétés mécaniques:

Enrobage de dureté jusqu'à 2300hV, avec une excellente résistance à l'usure.

L'adhésion entre le revêtement et le substrat est forte, et il n'est pas facile de tomber ou de peler.

Le revêtement peut toujours maintenir une bonne stabilité structurelle à haute température.

●  Excellente résistance à la corrosion:

Le matériau TAC lui-même a une excellente stabilité chimique et une résistance à la corrosion.

Les revêtements de Vetek Semiconductor fonctionnent bien dans une variété d'environnements de gaz agressifs.

Peut protéger efficacement les composants internes de l'équipement contre les dommages à la corrosion.

● Finition de surface élevée:

Vetek Semiconductor utilise un processus de revêtement précis pour produire la finition souhaitée.

La faible rugosité de surface aide à réduire l'accumulation et le dépôt de particules.

● La cohérence du revêtement est bonne:

Vetek Semiconductor a un système de contrôle de la qualité du son pour assurer des performances cohérentes entre les lots.

L'épaisseur du revêtement est répartie uniformément et il n'y a pas de défauts locaux évidents.

● Excellentes performances d'application pratique:

Le revêtement TAC de Vetek Semiconductor est largement utilisé dans de nombreux fabricants d'équipements épitaxiaux bien connus au pays et à l'étranger.

Paramètre physique du produit de la plaque de rotation en revêtement TAC:

Revêtement en carbure de tantale sur une section transversale microscopique