Matériaux et conception

La sélection d'une combinaison de substrat et de revêtement adaptée est la clé pour éviter une défaillance prématurée des composants, réduire la contamination par les particules et maximiser le rendement des plaquettes. Nous fournissons des solutions de conception de matériaux et de structures sur mesure autour de la fenêtre de processus spécifique du client (température de fonctionnement, chimie des gaz réactifs, taux de rampe).

Nos capacités de conception de base :

• Correspondance rigoureuse des contraintes CTE :Pour un cycle thermique rapide (>100 °C/min), nous adaptons précisément les courbes de température CTE des substrats en graphite de haute pureté et des revêtements CVD, réduisant ainsi fondamentalement le risque de délaminage et de microfissuration du revêtement.
• Sélection de revêtement spécifique au scénario de processus :Revêtement CVD SiC pour les environnements d'épitaxie Si/SiC (Epi), MOCVD et de gravure plasma ; Revêtement CVD TaC pour des températures plus élevées et des conditions fortement corrosives (par exemple, croissance PVT monocristallin SiC).
• Optimisation de la résistivité et de la conductivité thermique contrôlables :Contrôle précis de la résistivité globale et de la conductivité thermique du substrat et du revêtement pour répondre aux exigences spécifiques en matière de champ électrique et thermique des mandrins électrostatiques RF, ESC ou des zones de chauffage.
• Contrôle des sources de contamination et réduction du CoO :Les couches de dépôt CVD de haute pureté scellent de manière dense le graphite poreux, réduisant considérablement la perte de particules, la diffusion d'impuretés métalliques ultra-traces et le risque de dégazage à haute température.

Comparaison typique de sélection de revêtements (guide d'un coup d'œil)

Cas réel et avantages client (expérience) :

Un fabricant leader de l'épitaxie SiC (Epi) :Le composant d'origine utilisait un revêtement CVD TaC incompatible, ce qui entraînait des contraintes interfaciales excessives et de fréquentes microfissures à haute température. Nous avons refait les simulations thermodynamiques et sommes passés à unSubstrat en graphite de haute pureté spécialisé adapté au CTE + couche tampon + revêtement CVD SiCsolution. Résultat : la durée de vie moyenne des composants est passée de 200 heures à 850 heures ; la fréquence de remplacement annuelle par outil a été réduite de 40 à 9 fois ; Les économies sur les coûts d'exploitation et de maintenance de l'équipement complet ont dépassé 650 000 RMB par an.

Rapport d'analyse de pureté GDMS pour les revêtements TaC et SiC

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