Revêtement en carbure de tantale

VeTek semiconductor est l'un des principaux fabricants de matériaux de revêtement en carbure de tantale pour l'industrie des semi-conducteurs. Nos principales offres de produits comprennent des pièces de revêtement en carbure de tantale CVD, des pièces de revêtement TaC frittées pour la croissance cristalline de SiC ou le processus d'épitaxie de semi-conducteurs. Ayant passé la norme ISO9001, VeTek Semiconductor a un bon contrôle de la qualité. VeTek Semiconductor s'engage à devenir un innovateur dans l'industrie des revêtements en carbure de tantale grâce à la recherche et au développement continus de technologies itératives.

Les principaux produits sontAnneau de guidage revêtu de TaC, Anneau de guidage à trois pétales avec revêtement CVD TaC, Demi-lune revêtue de carbure de tantale TaC, Suscepteur épitaxial planétaire SiC à revêtement CVD TaC, Anneau de revêtement en carbure de tantale, Graphite poreux recouvert de carbure de tantale, Suscepteur de rotation du revêtement TaC, Bague en carbure de tantale, Plaque de rotation de revêtement TaC, Suscepteur de plaquette revêtue de TaC, Anneau déflecteur avec revêtement TaC, Couverture de revêtement CVD TaC, Mandrin à revêtement TaCetc., la pureté est inférieure à 5 ppm, peut répondre aux exigences des clients.

Le graphite de revêtement TaC est créé en recouvrant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). L'avantage est illustré dans l'image ci-dessous :

Excellent properties of TaC coating graphite

Le revêtement en carbure de tantale (TaC) a attiré l'attention en raison de son point de fusion élevé allant jusqu'à 3 880 °C, de son excellente résistance mécanique, de sa dureté et de sa résistance aux chocs thermiques, ce qui en fait une alternative intéressante aux processus d'épitaxie de semi-conducteurs composés avec des exigences de température plus élevées. tels que le système Aixtron MOCVD et le processus d'épitaxie LPE SiC. Il a également une large application dans le processus de croissance cristalline SiC de la méthode PVT.

Principales fonctionnalités:

●Stabilité de la température

●Ultra haute pureté

●Résistance à H2, NH3, SiH4,Si

●Résistance au stock thermique

●Forte adhérence au graphite

●Couverture du revêtement conforme

● Taille jusqu'à 750 mm de diamètre (le seul fabricant en Chine atteint cette taille)

Applications:

●Support de plaquette

● Suscepteur de chauffage inductif

● Élément chauffant résistif

●Disque satellite

●Pommeau de douche

●Bague de guidage

●Récepteur LED Epi

●Buse d'injection

●Anneau de masquage

● Bouclier thermique

Revêtement en carbure de tantale (TaC) sur une section microscopique:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Paramètre du revêtement en carbure de tantale VeTek Semiconductor:

Propriétés physiques du revêtement TaC
Densité	14,3 (g/cm³)
Émissivité spécifique	0.3
Coefficient de dilatation thermique	6.3 10^-6/K
Dureté (HK)	2000 Hong Kong
Résistance	1×10^-5Ohm*cm
Stabilité thermique	<2500℃
Modifications de la taille du graphite	-10~-20um
Épaisseur du revêtement	Valeur typique ≥20um (35um±10um)

Données EDX du revêtement TaC：

EDX data of TaC coating

Données sur la structure cristalline du revêtement TaC:

Élément	Pourcentage atomique
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Moyenne
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
Eux	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandrin de revêtement TaC Disque planétaire à revêtement TaC
Plaque enduite de TaC Plaque de rotation de revêtement TaC Récepteur de revêtement TaC Revêtement CVD TaC Anneau de revêtement CVD TaC Plaque de revêtement TaC

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Graphite poreux recouvert de carbure de tantale

Le graphite poreux enduit de carbure de carbure de tantale est un produit indispensable dans le processus de traitement des semi-conducteurs, en particulier dans le processus de croissance des cristaux SIC. Après des améliorations continues d'investissement en R&D et de technologie, la qualité du produit de graphite poreux enduit de Vetek Semiconductor a permis de faire des éloges des clients européens et américains. Bienvenue à votre nouvelle consultation.

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Suscepteur épitaxial planétaire SiC à revêtement CVD TaC

CVD TAC revêtement Planétaire SIC Le suscepteur épitaxial est l'un des composants centraux du réacteur planétaire MOCVD. Through CVD TaC coating planetary SiC epitaxial susceptor, the large disk orbits and the small disk rotates, and the horizontal flow model is extended to multi-chip machines, so that it has both the high-quality epitaxial wavelength uniformity management and defect optimization of single -Les machines de puce et les avantages des coûts de production des machines multi-puces.Vetek Semiconductor peut fournir aux clients un suscepteur épitaxial planétaire SIC planétaire hautement personnalisé. Si vous voulez également faire un four planétaire MOCVD comme Aixtron, venez à nous!

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Anneau enduit de tac

En tant que fabricant et fournisseur de premier plan de produits en anneaux enduits de TAC en Chine, Vetek Semiconductor s'est concentré sur la R&D et la production de divers produits de revêtement TAC. En tant que principaux clients des produits de revêtement TAC, les fabricants européens et américains ont fait l'éloge de nos produits de revêtement. Bienvenue à votre nouvelle consultation.

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Gan Epitaxy Undertaker

Vetek Semiconductor est une entreprise chinoise qui est un fabricant de classe mondiale et fournisseur de Gan Epitaxy Suscepteur. Nous travaillons dans l'industrie des semi-conducteurs tels que les revêtements en carbure de silicium et le suscepteur de Gan Epitaxy depuis longtemps. Nous pouvons vous fournir d'excellents produits et des prix favorables. Vetek Semiconductor a hâte de devenir votre partenaire à long terme.

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TAC en revêtement de la plaquette

Le suscepteur de la plaque en revêtement revêtu TAC VETEK est un plateau de graphite recouvert de carbure de tantale pour la croissance épitaxiale du carbure de silicium pour améliorer la qualité et les performances de la plaquette. VETEK est sélectionné en raison de sa technologie de revêtement avancée et de ses solutions durables pour assurer d'excellents résultats d'épitaxy SIC et une durée de vie de suscepteur prolongée, accueillez vos autres demandes.

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Anneaux de guidage de revêtement TAC

En tant que principal fabricant de produits de guidage de revêtement TAC en Chine, les anneaux de guidage revêtus de semi-conducteur VETEK TAC sont des composants importants dans l'équipement MOCVD, garantissant une livraison de gaz précise et stable pendant la croissance épitaxiale et sont un matériau indispensable dans la croissance épitaxiale de semi-conducteur. Bienvenue pour nous consulter.

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En tant que fabricant et fournisseur professionnel Revêtement en carbure de tantale en Chine, nous avons notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter avancé et durable Revêtement en carbure de tantale en Chine, vous pouvez nous laisser un message.

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