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Chuck enduit de tac
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Chuck enduit de tac

Avec sa résistance à haute température, son inertie chimique et ses excellentes performances, les enfants enduits de TAC de Vetek semi-conducteur sont conçus pour les fours semi-conducteurs. Nous pensons que nos produits peuvent vous apporter des technologies de pointe et des solutions de produits de qualité.

Vetek Semiconductor est un enfant en revêtement enduit de Chine TAC, un tube à revêtement TAC, un porte-revêtement en revêtement TAC, un fabricant de plateaux en graphite enduit TAC avec une qualité de haute qualité et un prix raisonnable. Bienvenue pour nous contacter.

Les enfants enduits de TAC de Vetek Semiconductor font partie intégrante des composants haute performance dans la fabrication de semi-conducteurs. Cela dépend des caractéristiques clés suivantes:


Haute intégrité du vide: Le mandrin revêtu de TAC maintient un niveau élevé d'intégrité du vide tout au long de tout le cycle de traitement, réduisant efficacement le dépassement et la contamination, assurant la pureté et la qualité des matériaux semi-conducteurs.

Température élevée et résistance chimique: Les revêtements TAC sont extrêmement résistants thermiquement et chimiquement, capables de fonctionner à des températures allant jusqu'à 2200 ° C et de résister aux gaz corrosifs tels que l'hydrogène, l'ammoniac et la vapeur de silicium.

Durée de vie de l'équipement prolongé: En raison de sa résistance supérieure à l'usure et de l'amortisseur thermique, le mandrin enduit de TAC peut prolonger considérablement la durée de vie de l'équipement et réduire le besoin d'entretien.

Amélioration de l'efficacité de la production: En réduisant la contamination et en améliorant la pureté des matériaux, le Chuck enduit de TAC aide à améliorer l'efficacité de la production et la qualité des produits et à réduire les coûts de production.


De plus, le mandrin de revêtement TAC présente une excellente polyvalence et peut accueillir une large gamme de tailles et de géométries de substrats semi-conducteurs. Sa conception personnalisable permet aux enfants enduits de TAC d'être intégrés de manière transparente dans les systèmes de fournaise semi-conducteurs existants, réduisant considérablement les temps d'arrêt et maximiser la productivité. Cette flexibilité améliore non seulement la compatibilité des équipements, mais assure également la continuité et l'efficacité du processus de production, fournissant aux fabricants de semi-conducteurs avec des solutions fiables et efficaces.

Les avantages des performances et de l'adaptabilité des délais de revêtement TAC de Vetek semi-conducteur en font un composant essentiel et critique dans la fabrication de semi-conducteurs.

Paramètre de produit du mandrin enduit de TAC:

Propriétés physiques du revêtement TAC
Densité de revêtement TAC
14.3 (g / cm³)
Émissivité spécifique
0.3
Coefficient de dilatation thermique 6.3 * 10-6/ K
Dureté de revêtement TAC (HK)
2000 HK
Résistance
1 × 10-5Ohm * cm
Stabilité thermique
<2500 ℃
Modifications de la taille du graphite
-10 ~ -20UM
Épaisseur de revêtement
Valeur typique ≥20UM (35UM ± 10UM)


Magasins de production:

VeTek Semiconductor Production Shop


Aperçu de la chaîne de l'industrie de l'épitaxie des puces semi-conductrices:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

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