Revêtement en carbure de tantale

VeTek semiconductor est l'un des principaux fabricants de matériaux de revêtement en carbure de tantale pour l'industrie des semi-conducteurs. Nos principales offres de produits comprennent des pièces de revêtement en carbure de tantale CVD, des pièces de revêtement TaC frittées pour la croissance cristalline de SiC ou le processus d'épitaxie de semi-conducteurs. Ayant passé la norme ISO9001, VeTek Semiconductor a un bon contrôle de la qualité. VeTek Semiconductor s'engage à devenir un innovateur dans l'industrie des revêtements en carbure de tantale grâce à la recherche et au développement continus de technologies itératives.

Les principaux produits sontAnneau de guidage revêtu de TaC, Anneau de guidage à trois pétales avec revêtement CVD TaC, Demi-lune revêtue de carbure de tantale TaC, Suscepteur épitaxial planétaire SiC à revêtement CVD TaC, Anneau de revêtement en carbure de tantale, Graphite poreux recouvert de carbure de tantale, Suscepteur de rotation du revêtement TaC, Bague en carbure de tantale, Plaque de rotation de revêtement TaC, Suscepteur de plaquette revêtue de TaC, Anneau déflecteur avec revêtement TaC, Couverture de revêtement CVD TaC, Mandrin à revêtement TaCetc., la pureté est inférieure à 5 ppm, peut répondre aux exigences des clients.

Le graphite de revêtement TaC est créé en recouvrant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). L'avantage est illustré dans l'image ci-dessous :

Excellent properties of TaC coating graphite

Le revêtement en carbure de tantale (TaC) a attiré l'attention en raison de son point de fusion élevé allant jusqu'à 3 880 °C, de son excellente résistance mécanique, de sa dureté et de sa résistance aux chocs thermiques, ce qui en fait une alternative intéressante aux processus d'épitaxie de semi-conducteurs composés avec des exigences de température plus élevées. tels que le système Aixtron MOCVD et le processus d'épitaxie LPE SiC. Il a également une large application dans le processus de croissance cristalline SiC de la méthode PVT.

Principales fonctionnalités:

●Stabilité de la température

●Ultra haute pureté

●Résistance à H2, NH3, SiH4,Si

●Résistance au stock thermique

●Forte adhérence au graphite

●Couverture du revêtement conforme

● Taille jusqu'à 750 mm de diamètre (le seul fabricant en Chine atteint cette taille)

Applications:

●Support de plaquette

● Suscepteur de chauffage inductif

● Élément chauffant résistif

●Disque satellite

●Pommeau de douche

●Bague de guidage

●Récepteur LED Epi

●Buse d'injection

●Anneau de masquage

● Bouclier thermique

Revêtement en carbure de tantale (TaC) sur une section microscopique:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Paramètre du revêtement en carbure de tantale VeTek Semiconductor:

Propriétés physiques du revêtement TaC
Densité	14,3 (g/cm³)
Émissivité spécifique	0.3
Coefficient de dilatation thermique	6.3 10^-6/K
Dureté (HK)	2000 Hong Kong
Résistance	1×10^-5Ohm*cm
Stabilité thermique	<2500℃
Modifications de la taille du graphite	-10~-20um
Épaisseur du revêtement	Valeur typique ≥20um (35um±10um)

Données EDX du revêtement TaC：

EDX data of TaC coating

Données sur la structure cristalline du revêtement TaC:

Élément	Pourcentage atomique
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Moyenne
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
Eux	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandrin de revêtement TaC Disque planétaire à revêtement TaC
Plaque enduite de TaC Plaque de rotation de revêtement TaC Récepteur de revêtement TaC Revêtement CVD TaC Anneau de revêtement CVD TaC Plaque de revêtement TaC

View as

Tube de revêtement TaC

Le tube de revêtement TaC de VeTek Semiconductor est un élément clé pour la croissance réussie des monocristaux de carbure de silicium. Avec sa résistance aux températures élevées, son inertie chimique et ses excellentes performances, cela garantit la production de cristaux de haute qualité avec des résultats constants. Faites confiance à nos solutions innovantes pour améliorer votre processus de croissance cristalline SiC selon la méthode PVT et obtenir d'excellents résultats. Bienvenue à nous consulter.

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TAC TAC SOIR SEAT

Le revêtement TAC est actuellement principalement utilisé dans des processus tels que la croissance monocristallière du carbure de silicium (méthode PVT), le disque épitaxial (y compris l'épitaxie du carbure de silicium, l'épitaxy LED), etc. combinée à la bonne stabilité à long terme de la plaque de revêtement TAC, de la plaque de revêtement TAC de VetekSesmicon. Nous attendons avec impatience que vous deveniez notre partenaire à long terme.

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Gan sur le récepteur EPI

Le suscepteur GAn sur SIC EPI joue un rôle vital dans le traitement des semi-conducteurs grâce à son excellente conductivité thermique, sa capacité de traitement à haute température et sa stabilité chimique, et assure la forte efficacité et la qualité du matériau du processus de croissance épitaxiale GAN. Vetek Semiconductor est un fabricant professionnel en Chine de GAN sur SIC EPI Sondor, nous attendons sincèrement votre nouvelle consultation.

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CVD TAC TACTING Carrier

Le support de revêtement TAC CVD est principalement conçu pour le processus épitaxial de la fabrication de semi-conducteurs. Le point de fusion ultra-élevé du support de revêtement TAC CVD, une excellente résistance à la corrosion et une stabilité thermique exceptionnelle déterminent l'indispensabilité de ce produit dans le processus épitaxial semi-conducteur. Bienvenue à votre autre demande.

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Support de graphite enduit de tac

Le suscepteur en graphite enduit de Vetek Semiconductor Utilise la méthode de dépôt de vapeur chimique (CVD) pour préparer le revêtement de carbure de tantale à la surface des pièces de graphite. Ce processus est le plus mature et possède les meilleures propriétés de revêtement. Le suscepteur en graphite enduit de TAC peut prolonger la durée de vie des composants du graphite, inhiber la migration des impuretés graphites et assurer la qualité de l'épitaxy. Nous attendons avec impatience votre enquête.

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Sous-marin de revêtement TAC

Vetek Semiconductor présente le suscepteur de revêtement TAC, avec son revêtement TAC exceptionnel, ce suscepteur offre une multitude d'avantages qui le distinguent des solutions conventionnelles. Intégrant de manière transparente dans les systèmes existants, le revêtement TAC suscepteur de la garantie des semi-conducteurs de vetek et le fonctionnement efficace. Ses performances fiables et son revêtement TAC de haute qualité fournissent systématiquement des résultats exceptionnels dans les processus épitaxy SIC. Nous nous engageons à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs et nous sommes impatients d'être votre partenaire à long terme en Chine.

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En tant que fabricant et fournisseur professionnel Revêtement en carbure de tantale en Chine, nous avons notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter avancé et durable Revêtement en carbure de tantale en Chine, vous pouvez nous laisser un message.

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