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Revêtement en carbure de tantale

VeTek semiconductor est l'un des principaux fabricants de matériaux de revêtement en carbure de tantale pour l'industrie des semi-conducteurs. Nos principales offres de produits comprennent des pièces de revêtement en carbure de tantale CVD, des pièces de revêtement TaC frittées pour la croissance cristalline de SiC ou le processus d'épitaxie de semi-conducteurs. Ayant passé la norme ISO9001, VeTek Semiconductor a un bon contrôle de la qualité. VeTek Semiconductor s'engage à devenir un innovateur dans l'industrie des revêtements en carbure de tantale grâce à la recherche et au développement continus de technologies itératives.


Les principaux produits sontAnneau de guidage revêtu de TaC, Anneau de guidage à trois pétales avec revêtement CVD TaC, Demi-lune revêtue de carbure de tantale TaC, Suscepteur épitaxial planétaire SiC à revêtement CVD TaC, Anneau de revêtement en carbure de tantale, Graphite poreux recouvert de carbure de tantale, Suscepteur de rotation du revêtement TaC, Bague en carbure de tantale, Plaque de rotation de revêtement TaC, Suscepteur de plaquette revêtue de TaC, Anneau déflecteur avec revêtement TaC, Couverture de revêtement CVD TaC, Mandrin à revêtement TaCetc., la pureté est inférieure à 5 ppm, peut répondre aux exigences des clients.


Le graphite de revêtement TaC est créé en recouvrant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). L'avantage est illustré dans l'image ci-dessous :


Excellent properties of TaC coating graphite


Le revêtement en carbure de tantale (TaC) a attiré l'attention en raison de son point de fusion élevé allant jusqu'à 3 880 °C, de son excellente résistance mécanique, de sa dureté et de sa résistance aux chocs thermiques, ce qui en fait une alternative intéressante aux processus d'épitaxie de semi-conducteurs composés avec des exigences de température plus élevées. tels que le système Aixtron MOCVD et le processus d'épitaxie LPE SiC. Il a également une large application dans le processus de croissance cristalline SiC de la méthode PVT.


Principales fonctionnalités:

 ●Stabilité de la température

 ●Ultra haute pureté

 ●Résistance à H2, NH3, SiH4,Si

 ●Résistance au stock thermique

 ●Forte adhérence au graphite

 ●Couverture du revêtement conforme

 ● Taille jusqu'à 750 mm de diamètre (le seul fabricant en Chine atteint cette taille)


Applications:

 ●Support de plaquette

 ● Suscepteur de chauffage inductif

 ● Élément chauffant résistif

 ●Disque satellite

 ●Pommeau de douche

 ●Bague de guidage

 ●Récepteur LED Epi

 ●Buse d'injection

 ●Anneau de masquage

 ● Bouclier thermique


Revêtement en carbure de tantale (TaC) sur une section microscopique:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Paramètre du revêtement en carbure de tantale VeTek Semiconductor:

Propriétés physiques du revêtement TaC
Densité 14,3 (g/cm³)
Émissivité spécifique 0.3
Coefficient de dilatation thermique 6.3 10-6/K
Dureté (HK) 2000 Hong Kong
Résistance 1×10-5Ohm*cm
Stabilité thermique <2500℃
Modifications de la taille du graphite -10~-20um
Épaisseur du revêtement Valeur typique ≥20um (35um±10um)


Données EDX du revêtement TaC：

EDX data of TaC coating


Données sur la structure cristalline du revêtement TaC:

Élément Pourcentage atomique
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Moyenne
CK 52.10 57.41 52.37 53.96
Eux 47.90 42.59 47.63 46.04


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Suscepteur de rotation du revêtement TaC

Suscepteur de rotation du revêtement TaC

En tant que fabricant professionnel, innovateur et leader des produits TaC Coating Rotation Susceptor en Chine. Le suscepteur de rotation de revêtement VeTek Semiconductor TaC est généralement installé dans les équipements de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et d'épitaxie par jet moléculaire (MBE) pour soutenir et faire tourner les tranches afin d'assurer un dépôt de matériau uniforme et une réaction efficace. C'est un élément clé dans le traitement des semi-conducteurs. Bienvenue à votre consultation ultérieure.
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Creuset de revêtement CVD TaC

Creuset de revêtement CVD TaC

VeTek Semiconductor est un fabricant professionnel et leader de produits de creusets à revêtement CVD TaC en Chine. Le creuset à revêtement CVD TaC est basé sur un revêtement en carbone de tantale (TaC). Le revêtement de carbone de tantale est uniformément recouvert sur la surface du creuset grâce à un processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) pour améliorer sa résistance à la chaleur et à la corrosion. C'est un outil matériel spécialement utilisé dans les environnements extrêmes à haute température. Bienvenue à votre consultation ultérieure.
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CVD TAC revêtement de plaquette de revêtement

CVD TAC revêtement de plaquette de revêtement

En tant que fabricant de produits et usine de porteurs de porteurs de revêtement professionnels professionnels TAC en Chine, Vetek Semiconductor CVD TAC revêtement de wafer porteuse est un outil de transport de plaquette spécialement conçu pour des environnements à haute température et corrosifs dans la fabrication de semi-conducteurs. et la porteuse de plaquette de revêtement TAC CVD a une résistance mécanique élevée, une excellente résistance à la corrosion et une stabilité thermique, offrant la garantie nécessaire pour fabriquer des dispositifs semi-conducteurs de haute qualité. Vos autres demandes sont les bienvenues.
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Chauffe-revêtement TAC

Chauffe-revêtement TAC

Le revêtement chauffant VeTek Semiconductor TaC a un point de fusion extrêmement élevé (environ 3 880 °C). Le point de fusion élevé lui permet de fonctionner à des températures extrêmement élevées, en particulier lors de la croissance de couches épitaxiales de nitrure de gallium (GaN) dans le procédé de dépôt chimique en phase vapeur organométallique (MOCVD). VeTek Semiconductor s'engage à fournir à ses clients des solutions de produits personnalisées. Nous sommes impatients de vous entendre.
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Revêtement CVD TAC

Revêtement CVD TAC

VeTek Semiconductor est le principal fabricant chinois de produits de revêtement CVD TAC. Depuis de nombreuses années, nous nous concentrons sur divers produits de revêtement CVD TAC tels que le revêtement de revêtement CVD TaC et l'anneau de revêtement CVD TaC. VeTek Semiconductor prend en charge des services de produits personnalisés et des prix de produits satisfaisants, et attend avec impatience votre consultation ultérieure.
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Chuck enduit de tac

Chuck enduit de tac

Avec sa résistance à haute température, son inertie chimique et ses excellentes performances, les enfants enduits de TAC de Vetek semi-conducteur sont conçus pour les fours semi-conducteurs. Nous pensons que nos produits peuvent vous apporter des technologies de pointe et des solutions de produits de qualité.
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En tant que fabricant et fournisseur professionnel Revêtement en carbure de tantale en Chine, nous avons notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter avancé et durable Revêtement en carbure de tantale en Chine, vous pouvez nous laisser un message.
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