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Revêtement en carbure de tantale

VeTek semiconductor est l'un des principaux fabricants de matériaux de revêtement en carbure de tantale pour l'industrie des semi-conducteurs. Nos principales offres de produits comprennent des pièces de revêtement en carbure de tantale CVD, des pièces de revêtement TaC frittées pour la croissance cristalline de SiC ou le processus d'épitaxie de semi-conducteurs. Ayant passé la norme ISO9001, VeTek Semiconductor a un bon contrôle de la qualité. VeTek Semiconductor s'engage à devenir un innovateur dans l'industrie des revêtements en carbure de tantale grâce à la recherche et au développement continus de technologies itératives.


Les principaux produits sontAnneau de guidage revêtu de TaC, Anneau de guidage à trois pétales avec revêtement CVD TaC, Demi-lune revêtue de carbure de tantale TaC, Suscepteur épitaxial planétaire SiC à revêtement CVD TaC, Anneau de revêtement en carbure de tantale, Graphite poreux recouvert de carbure de tantale, Suscepteur de rotation du revêtement TaC, Bague en carbure de tantale, Plaque de rotation de revêtement TaC, Suscepteur de plaquette revêtue de TaC, Anneau déflecteur avec revêtement TaC, Couverture de revêtement CVD TaC, Mandrin à revêtement TaCetc., la pureté est inférieure à 5 ppm, peut répondre aux exigences des clients.


Le graphite de revêtement TaC est créé en recouvrant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). L'avantage est illustré dans l'image ci-dessous :


Excellent properties of TaC coating graphite


Le revêtement en carbure de tantale (TaC) a attiré l'attention en raison de son point de fusion élevé allant jusqu'à 3 880 °C, de son excellente résistance mécanique, de sa dureté et de sa résistance aux chocs thermiques, ce qui en fait une alternative intéressante aux processus d'épitaxie de semi-conducteurs composés avec des exigences de température plus élevées. tels que le système Aixtron MOCVD et le processus d'épitaxie LPE SiC. Il a également une large application dans le processus de croissance cristalline SiC de la méthode PVT.


Principales fonctionnalités:

 ●Stabilité de la température

 ●Ultra haute pureté

 ●Résistance à H2, NH3, SiH4,Si

 ●Résistance au stock thermique

 ●Forte adhérence au graphite

 ●Couverture du revêtement conforme

 ● Taille jusqu'à 750 mm de diamètre (le seul fabricant en Chine atteint cette taille)


Applications:

 ●Support de plaquette

 ● Suscepteur de chauffage inductif

 ● Élément chauffant résistif

 ●Disque satellite

 ●Pommeau de douche

 ●Bague de guidage

 ●Récepteur LED Epi

 ●Buse d'injection

 ●Anneau de masquage

 ● Bouclier thermique


Revêtement en carbure de tantale (TaC) sur une section microscopique:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Paramètre du revêtement en carbure de tantale VeTek Semiconductor:

Propriétés physiques du revêtement TaC
Densité 14,3 (g/cm³)
Émissivité spécifique 0.3
Coefficient de dilatation thermique 6.3 10-6/K
Dureté (HK) 2000 Hong Kong
Résistance 1×10-5Ohm*cm
Stabilité thermique <2500℃
Modifications de la taille du graphite -10~-20um
Épaisseur du revêtement Valeur typique ≥20um (35um±10um)


Données EDX du revêtement TaC：

EDX data of TaC coating


Données sur la structure cristalline du revêtement TaC:

Élément Pourcentage atomique
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Moyenne
CK 52.10 57.41 52.37 53.96
Eux 47.90 42.59 47.63 46.04


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Tantalum Carbure enduit

Tantalum Carbure enduit

En tant qu'innovateur professionnel et leader des produits en anneaux revêtus de carbure de tantale en Chine, le cycle en revêtement en carbure de carbure VETEK semi-conducteur joue un rôle irremplaçable dans la croissance des cristaux SIC avec son excellente résistance à haute température, résistance à l'usure et excellente conductivité thermique. Bienvenue à votre nouvelle consultation.
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Carbure de tantale

Carbure de tantale

Vetek Semiconductor est un fabricant professionnel et leader de produits en carbure de tantale poreux en Chine. Le carbure de tantale poreux est généralement fabriqué par la méthode de dépôt de vapeur chimique (CVD), garantissant un contrôle précis de sa taille et de sa distribution de pores, et est un outil de matériau dédié à des environnements extrêmes à haute température. Bienvenue à votre nouvelle consultation.
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Anneau de guidage de revêtement TAC

Anneau de guidage de revêtement TAC

Le cycle de guidage de revêtement TAC de Vetek Semiconductor est créé en appliquant un revêtement en carbure de tantale sur des pièces de graphite en utilisant une technique très avancée appelée dépôt de vapeur chimique (CVD). Cette méthode est bien établie et offre des propriétés de revêtement exceptionnelles. En utilisant l'anneau de guidage de revêtement TAC, la durée de vie des composants du graphite peut être considérablement étendue, le mouvement des impuretés en graphite peut être supprimé et la qualité unique de SIC et AIN peut être maintenue de manière fiable. Bienvenue pour nous enquêter.
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Bague en carbure de tantale

Bague en carbure de tantale

En tant que fabricant avancé et producteur de produits de bague en carbure de tantale en Chine, le cycle de carbure de Tantalum Vetek semi-conducteur a une dureté extrêmement élevée, une résistance à l'usure, une résistance à haute température et une stabilité chimique, et est largement utilisé dans le champ de fabrication de semi-conducteurs. En particulier dans les MCV, les PVD, le processus d'implantation ionique, le processus de gravure et le traitement et le transport des plaquettes, il s'agit d'un produit indispensable pour le traitement et la fabrication des semi-conducteurs. Dans l'attente de votre nouvelle consultation.
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Support de revêtement en carbure de tantale

Support de revêtement en carbure de tantale

En tant que fabricant professionnel de produits de support de revêtement en carbure de tantale et usine en Chine, le support de revêtement en carbure de tantale VeTek Semiconductor est généralement utilisé pour le revêtement de surface de composants structurels ou de composants de support dans des équipements semi-conducteurs, en particulier pour la protection de surface des composants clés de l'équipement dans les processus de fabrication de semi-conducteurs tels que CVD et PVD. Bienvenue à votre consultation ultérieure.
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Anneau de guide en carbure de tantale

Anneau de guide en carbure de tantale

Vetek Semiconductor est un fabricant professionnel et chef de file du Tantalum Carbide Guide Ring Products en Chine. Notre anneau de guidage en carbure de tantale (TAC) est un composant de cycle haute performance en carbure de tantale, qui est couramment utilisé dans l'équipement de traitement des semi-conducteurs, en particulier dans les environnements à haute température et hautement corrosifs tels que CVD, PVD, gravure et diffusion. Vetek Semiconductor s'engage à fournir des technologies de pointe et des solutions de produits pour l'industrie des semi-conducteurs et se félicite de vos autres demandes.
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En tant que fabricant et fournisseur professionnel Revêtement en carbure de tantale en Chine, nous avons notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter avancé et durable Revêtement en carbure de tantale en Chine, vous pouvez nous laisser un message.
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