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VeTek Semiconductor fournit du graphite spécial comme le graphite siliconé, le carbone pyrolytique, le graphite poreux, le revêtement de carbone vitreux, la feuille de graphite de haute pureté et le graphite isostatique de haute pureté sont plusieurs types de matériaux de graphite spéciaux qui partagent des caractéristiques et des applications communes. Voici une brève introduction à leurs fonctionnalités et applications :
● Graphite siliconé : Le graphite siliconé est un matériau graphite spécial formé en combinant du graphite avec des composés de silicium. Il présente d’excellentes propriétés mécaniques, de résistance aux hautes températures et à la corrosion. Le graphite siliconé est couramment utilisé dans les fours à haute température, les équipements résistant à la corrosion et la fabrication de semi-conducteurs.
● Carbone pyrolytique : Le carbone pyrolytique est un matériau carboné obtenu par pyrolyse à haute température de substances organiques telles que le charbon et le coke de pétrole. Il présente une pureté, une densité, une résistance élevées et une faible conductivité électrique. Le carbone pyrolytique trouve de nombreuses applications en tant que matériaux à haute température et composants structurels dans les domaines des semi-conducteurs, des équipements chimiques, de l'aérospatiale et d'autres domaines.
● Graphite poreux : Le graphite poreux est un matériau graphite spécial doté de structures micro et mésoporeuses. Il possède une grande surface spécifique et une grande porosité, offrant d'excellentes propriétés d'adsorption et de conductivité thermique. Le graphite poreux est couramment utilisé dans la séparation des gaz, la croissance des cristaux de SiC et d'autres applications.
● Revêtement de carbone vitreux : Le revêtement de carbone vitreux fait référence à la technique d'application d'un matériau de carbone vitreux comme revêtement de surface. Il présente une résistance à la corrosion, une résistance à l’usure et une conductivité électrique exceptionnelles. Les revêtements de carbone vitreux sont fréquemment utilisés dans les revêtements résistants à la corrosion, les matériaux de revêtement pour les pistolets E-Beam et d'autres domaines de semi-conducteurs.
● Graphite isostatique de haute pureté : le graphite isostatique de haute pureté est un matériau de graphite spécial de haute pureté préparé par un processus de pressage isostatique à haute température. Il présente une microstructure uniforme, une densité élevée et une faible teneur en oxygène. Le graphite isostatique de haute pureté est largement utilisé dans l'usinage de précision, les matériaux de dissipation thermique, la fabrication de semi-conducteurs, le photovoltaïque, l'aérospatiale et d'autres industries.
Le papier graphite de haute pureté est un matériau spécialisé utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Grâce à sa conductivité thermique et électrique exceptionnelle, il joue un rôle essentiel dans des applications telles que les dissipateurs thermiques, les matériaux d'interface thermique et l'isolation électrique. La nature légère et flexible du papier graphite de haute pureté le rend idéal pour améliorer la gestion thermique et optimiser les performances des dispositifs semi-conducteurs. Sa grande pureté (impureté inférieure à 5 ppm) garantit un fonctionnement fiable et efficace, ce qui en fait un composant précieux dans la fabrication et l'assemblage de semi-conducteurs.
Ces matériaux graphites spéciaux offrent des propriétés uniques et des avantages d’application dans leurs domaines respectifs. Ils jouent un rôle essentiel dans les environnements à haute température, la résistance à la corrosion, l’électronique, l’énergie, le génie chimique, l’aérospatiale et les industries des semi-conducteurs, fournissant un soutien essentiel aux progrès et aux innovations dans ces secteurs.
● Options de très haute pureté avec des niveaux d'impuretés inférieurs à 5 ppm pour les processus critiques de semi-conducteurs.
● Excellente stabilité à haute température et résistance aux chocs thermiques, adaptées à la croissance cristalline PVT SiC et aux fours sous vide.
● Diverses formes de matériaux : graphite isostatique, graphite poreux, graphite siliconé, revêtement PyC, revêtement de carbone vitreux et feuilles de graphite flexibles.
● Résistance supérieure à la corrosion, résistance à l'usure et porosité contrôlée pour les applications de gestion des gaz et de champs thermiques.
● Capacité d'usinage et de revêtement en interne (SiC / TaC / PyC) permettant des solutions personnalisées uniques.
● Compatible avec les principales plates-formes d'équipements de semi-conducteurs et de croissance de cristaux.
| Paramètre de revêtement en carbone pyrolytique (PyC) | ||
| Article | Unité | valeur |
| Structure cristalline | - | Hexagonal |
| Alignement | - | Orienté ou non selon la direction 001 |
| Densité apparente | g/cm³ | ~2.24 |
| Microstructure | - | Graphène polycristallin/multicouche |
| Dureté | GPa | 1.1 |
| Module élastique | GPa | 10 |
| Épaisseur typique | µm | 30-100 |
| Rugosité de la surface | µm | 1.5 |
| Pureté du produit | ppm | ≤5 ppm |
Pour répondre aux divers besoins des processus de semi-conducteurs et à haute température, VeTek propose des produits ciblés en graphite spécial. Le tableau suivant les classe par principaux domaines d'application, répertoriant les matériaux/composants typiques et les processus applicables :
| Champ d'application | Matériaux/produits typiques | Description de l'application |
| Croissance cristalline SiC (PVT) | Graphite poreux, Anneau en graphite revêtu de PyC, creuset en graphite isostatique, anneau de guidage | Utilisé dans les champs thermiques de croissance cristalline PVT SiC ; offre un transport de vapeur contrôlé, une pureté élevée et une stabilité thermique jusqu'à >2 200 °C, réduisant ainsi la contamination par les particules. |
| Epitaxie de semi-conducteurs / MOCVD | radiateurs, PyC / pièces revêtues de carbone vitreux | Composants de champ thermique de haute pureté pour les systèmes d'épitaxie Si/SiC/GaN et MOCVD ; excellente uniformité de température et inertie chimique. |
| Fours et vide haute température | Radiateurs en graphite, Creuset en graphite à trois pétales | Matériaux résistants à la corrosion et thermiquement stables pour les fours sous vide, les réchauffeurs à zone chaude et les équipements de traitement à haute température. |
| Gestion thermique | Feutre graphite de haute pureté, Papier graphite | Feuilles flexibles à haute conductivité thermique/électrique pour dissipateurs thermiques, matériaux d'interface thermique et isolation électrique dans les dispositifs semi-conducteurs (impureté <5 ppm). |
| Protection contre la corrosion/l'usure | Revêtement de carbone vitreux, graphite siliconé | Revêtements de surface et matériaux en vrac offrant une résistance à la corrosion, une résistance à l'usure et une conductivité électrique exceptionnelles pour les pistolets à faisceau électronique et les environnements difficiles. |
| Séparation et adsorption des gaz | Graphite poreux | Structure micro/mésoporeuse avec une grande surface spécifique pour les applications de séparation des gaz, de filtration et d'atmosphère contrôlée. |
Pour des solutions plus détaillées de correspondance de produits et de processus, veuillez vous référer aux pages de sous-catégories associées :Graphite poreux, Graphite isotrope, Revêtement de carbone pyrolytiqueetc.
Éléments en graphite enduits de graphite pyrolytique
Creuset en graphite recouvert de carbone vitreux
Graphite poreux de haute pureté
Creuset en graphite isostatique à trois pétales
Papier graphite de haute pureté
Bateau en graphite PECVD
En tant que fabricant et fournisseur professionnel de graphite spécial en Chine, nous disposons de notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter du graphite spécial avancé et durable fabriqué en Chine, vous pouvezlaissez-nous un message.