Épitaxie en silicium

Épitaxie de silicium, Epi, épitaxie, épitaxial fait référence à la croissance d'une couche de cristal avec la même direction cristalline et une épaisseur de cristal différente sur un substrat de silicium cristallin unique. La technologie de croissance épitaxiale est nécessaire pour la fabrication de composants discrets semi-conducteurs et de circuits intégrés, car les impuretés contenues dans les semi-conducteurs comprennent le type n et le type p. Grâce à une combinaison de différents types, les appareils semi-conducteurs présentent une variété de fonctions.

La méthode de croissance de l'épitaxie du silicium peut être divisée en épitaxie en phase gazeuse, épitaxie en phase liquide (LPE), épitaxie en phase solide, méthode de croissance du dépôt de vapeur chimique est largement utilisée dans le monde pour répondre à l'intégrité du réseau.

L'équipement épitaxial de silicium typique est représenté par la société italienne LPE, qui a des crêpes épitaxiales hy pnotiques Tor, de type baril hy pnotique Tor, semi-conducteur hy-pnotique, porteuse de plaquette, etc. Le diagramme schématique de la chambre de réaction épitaxiale de la barille en baril est le suivant. Le semi-conducteur de Vetek peut fournir une plaquette épitaxiale en forme de baril. La qualité du peclector Hy enduit de SiC est très mature. Une qualité équivalente à SGL; Dans le même temps, le semi-conducteur de Vetek peut également fournir une buse de quartz de cavité de réaction épitaxiale de silicium, de chicane en quartz, un pot de cloche et d'autres produits complets.

Suscepteur épitaxial verte de l'épitaxie du silicium:

Les principaux produits épitaxiaux verticaux de Vetek Semiconductor

SIC enduit de baril graphite Suscepteur pour EPI Sic en revêtement en revêtement CVD SIC revêtu de baril LPE SI SEPTORT EPI SEPTORT

Suscepteur épitaxial horizonal pour l'épitaxie au silicium:

Produits épitaxiaux horizontaux de Vetek Semiconductor

Sic revêtement monocristallin silicium épitaxial plateau Support enduit de sic pour le LPE PE2061 Support rotatif de graphite