Que savez-vous sur CVD SIC? - Semi-conducteur Vetek

Cvd sic(Dépôt chimique de vapeur en carbure de silicium) est un matériau de carbure de silicium de haute pureté fabriqué par dépôt de vapeur chimique. Il est principalement utilisé pour divers composants et revêtements dans l'équipement de traitement des semi-conducteurs. CVDSica une excellente stabilité thermique, une dureté élevée, un coefficient de dilatation thermique faible et une excellente résistance à la corrosion chimique, ce qui en fait un matériau idéal pour une utilisation dans des conditions de processus extrêmes.

Le matériau SIC CVD est largement utilisé dans les composants impliquant une température élevée, un environnement hautement corrosif et une contrainte mécanique élevée dans le processus de fabrication de semi-conducteurs.

Cvd sicComposantsIncluant principalement les produits suivants

● Revêtement CVD sic

Il est utilisé comme couche protectrice pour l'équipement de traitement des semi-conducteurs pour empêcher le substrat d'être endommagé par une température élevée, une corrosion chimique et une usure mécanique.

● Pavillon sic

Il est utilisé pour transporter et transporter des tranches dans des processus à haute température (tels que la diffusion et la croissance épitaxiale) pour assurer la stabilité des plaquettes et l'uniformité des processus.

● Tube de processus sic

Les tubes de processus SIC sont principalement utilisés dans les fours de diffusion et les fours d'oxydation pour fournir un environnement de réaction contrôlé pour les tranches de silicium, assurant un dépôt précis des matériaux et une distribution de dopage uniforme.

● Pagaie en porte-à-faux sic

La pagaie en porte-à-faux sic est principalement utilisée pour transporter ou soutenir des plaquettes de silicium dans les fours de diffusion et les fours d'oxydation, jouant un rôle de roulement. En particulier dans les processus à haute température tels que la diffusion, l'oxydation, le recuit, etc., il assure la stabilité et le traitement uniforme des tranches de silicium dans des environnements extrêmes.

● Pomme de douche CVD sic

Il est utilisé comme composant de distribution de gaz dans l'équipement de gravure du plasma, avec une excellente résistance à la corrosion et une stabilité thermique pour assurer une distribution uniforme des gaz et un effet de gravure.

● Plafond enduit de sic

Composants de la chambre de réaction de l'équipement, utilisé pour protéger l'équipement des dommages par des gaz à haute température et des gaz corrosifs et prolonger la durée de vie de l'équipement.

● Solicon Epitaxy Suscepteurs

Porteurs de plaquettes utilisés dans les processus de croissance épitaxiale du silicium pour assurer un chauffage uniforme et une qualité de dépôt des plaquettes.

Le carbure de silicium déposé par la vapeur chimique (CVD SIC) a une large gamme d'applications dans le traitement des semi-conducteurs, principalement utilisées pour fabriquer des dispositifs et des composants résistants aux températures élevées, à la corrosion et à la dureté élevée. 

Cvd sicLe rôle principal se reflète dans les aspects suivants

✔ revêtements protecteurs dans des environnements à haute température

Fonction: CVD SIC est souvent utilisé pour les revêtements de surface des composants clés de l'équipement semi-conducteur (tels que les sucepteurs, les doublures de la chambre de réaction, etc.). Ces composants doivent travailler dans des environnements à haute température, et les revêtements SIC CVD peuvent offrir une excellente stabilité thermique pour protéger le substrat des dommages à haute température.

Avantages: Le point de fusion élevé et l'excellente conductivité thermique du CVD SIC garantissent que les composants peuvent fonctionner de manière stable pendant une longue période dans des conditions de température élevée, prolongeant la durée de vie de l'équipement.

✔ Applications anti-corrosion

Fonction: Dans le processus de fabrication de semi-conducteurs, le revêtement SIC CVD peut résister efficacement à l'érosion des gaz et des produits chimiques corrosifs et protéger l'intégrité de l'équipement et des dispositifs. Ceci est particulièrement important pour gérer les gaz hautement corrosifs tels que les fluorures et les chlorures.

Avantages: En déposant le revêtement CVD SIC à la surface du composant, les dommages et les coûts de maintenance de l'équipement causés par la corrosion peuvent être considérablement réduits et l'efficacité de la production peut être améliorée.

✔ Applications à haute résistance et à l'usure

Fonction: Le matériau SIC CVD est connu pour sa dureté élevée et sa forte résistance mécanique. Il est largement utilisé dans les composants semi-conducteurs qui nécessitent une résistance à l'usure et une haute précision, tels que les joints mécaniques, les composants porteurs de charge, etc. Ces composants sont soumis à une forte contrainte mécanique et à la friction pendant le fonctionnement. Le CVD SIC peut résister efficacement à ces contraintes et assurer la longue durée de vie et les performances stables de l'appareil.

Avantages: Les composants en CVD SIC peuvent non seulement résister à la contrainte mécanique dans des environnements extrêmes, mais également maintenir leur stabilité dimensionnelle et leur finition de surface après une utilisation à long terme.

En même temps, CVD SIC joue un rôle vital dansCroissance épitaxiale dirigée, Semi-conducteurs de puissance et autres champs. Dans le processus de fabrication de semi-conducteurs, les substrats SIC CVD sont généralement utilisés commeSuscepteurs EPI. Leur excellente conductivité thermique et stabilité chimique font que les couches épitaxiales cultivées ont une qualité et une cohérence de meilleure qualité. De plus, le CVD SIC est également largement utilisé dansPROPORTS PSS, Transporteurs de plaquettes RTP, Transporteurs de gravure ICP, etc., offrant un support stable et fiable pendant la gravure du semi-conducteur pour garantir les performances de l'appareil.

Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd est l'un des principaux fournisseurs de matériaux de revêtement avancés pour l'industrie des semi-conducteurs. Notre entreprise se concentre sur le développement de solutions de bord pour l'industrie.

Nos principales offres de produits comprennent des revêtements CVD Silicon Carbide (SIC), des revêtements de carbure de tantale (TAC), des sics en vrac, des poudres de sic et des matériaux de haute pureté SIC, un suscepteur en graphite en revêtement SIC, un préchauffage, un anneau de diversion enrobé TAC, un demi-moon, des pièces simples, etc.

Vetek semi-conducteur se concentre sur le développement de la technologie de pointe et des solutions de développement de produits pour l'industrie des semi-conducteurs.Nous espérons sincèrement devenir votre partenaire à long terme en Chine.