Pomme de douche sic

Vetek Semiconductor fournit une tête de douche SIC avancée à l'industrie des semi-conducteurs. Les matériaux en carbure de silicium ont une combinaison unique d'excellentes propriétés thermiques, électriques et chimiques, ce qui les rend idéales pour les applications dans l'industrie des semi-conducteurs où des matériaux haute performance sont nécessaires. Vetek Semiconductor a longtemps accumulé une expérience dans la technologie SIC solide CVD. La technologie révolutionnaire de Vetek Semiconductor permet la production de pomme de douche SIC, un matériau de carbure de silicium à ultra-pure pureté créé par le processus de dépôt chimique de vapeur.

La pomme de douche SIC est un composant crucial de la fabrication de semi-conducteurs, spécialement conçu pour les systèmes MOCVD, l'épitaxie de silicium etSicprocessus épitaxy. Fait de robustecarbure de silicium solide (sic), ce composant peut résister aux conditions extrêmes du traitement du plasma et des applications à haute température.

Carbure de silicium (sic)est connu pour sa conductivité thermique élevée, sa résistance à la corrosion chimique et sa résistance mécanique exceptionnelle, ce qui en fait un matériau idéal pour les composants SIC en vrac comme la pomme de douche SIC. La pomme de douche à gaz assure une répartition pair des gaz de procédure sur la surface de la plaquette, ce qui est essentiel pour produire des couches épitaxiales de haute qualité. Les anneaux de mise au point et les anneaux de bord, souvent fabriqués à partir de MCV-SIC, maintiennent une distribution de plasma uniforme et protègent la chambre de la contamination, améliorant l'efficacité et le rendement de la croissance épitaxiale.

Avec son contrôle précis du débit de gaz et ses propriétés de matériaux exceptionnelles, la pomme de douche SIC est un composant clé du traitement moderne des semi-conducteurs, prenant en charge les applications avancées dans l'épitaxy au silicium et l'épitaxy SIC.

Vetek Semiconductor offre une pomme de douche à faible résistivité en carbure de silicium en silicium. Nous avons la capacité d'ingénieur et de fourniture personnalisésMatériaux en céramique avancésen utilisant une variété de capacités uniques.