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Pagaie en porte-à-faux SiC
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Pagaie en porte-à-faux SiC

La pagaie en porte-à-faux de Vetek Semiconductor est utilisée dans les fours de traitement thermique pour la manipulation et le soutien des bateaux à plaquettes. La stabilité à haute température et la conductivité thermique élevée du matériau SIC assurent une efficacité et une fiabilité élevées dans le processus de traitement des semi-conducteurs. Nous nous engageons à fournir des produits de haute qualité à des prix compétitifs et nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

Vous êtes accueilli pour venir à notre semi-conducteur Vetek d'usine pour acheter la dernière vendeuse, un prix bas et une pagaie en porte-à-faux de haute qualité. Nous sommes impatients de coopérer avec vous.


Vetek Semiconductor's Sic Cantilever Paddle Caractéristiques:

Stabilité à haute température : capable de conserver sa forme et sa structure à haute température, adaptée aux processus de traitement à haute température.

Résistance à la corrosion: excellente résistance à la corrosion à une variété de produits chimiques et de gaz.

Haute résistance et rigidité : fournit un support fiable pour éviter la déformation et les dommages.


Avantages de la pagaie en porte-à-faux de Vetek Semiconductor:

Haute précision : une précision de traitement élevée garantit un fonctionnement stable dans les équipements automatisés.

Faible contamination: le matériau SIC de haute pureté réduit le risque de contamination, ce qui est particulièrement important pour les environnements de fabrication ultra-nettoyés.

Propriétés mécaniques élevées: capable de résister à des environnements de travail durs avec des températures élevées et des pressions élevées.

Applications spécifiques de la pagaie en porte-à-faux sic et son principe d'application

Manipulation de la plaquette de silicium dans la fabrication de semi-conducteurs:

La pagaie en porte-à-faux sic est principalement utilisée pour gérer et prendre en charge les plaquettes de silicium pendant la fabrication de semi-conducteurs. Ces processus comprennent généralement le nettoyage, la gravure, le revêtement et le traitement thermique. Principe de demande:

Manipulation des plaquettes de silicium : la palette en porte-à-faux SiC est conçue pour serrer et déplacer en toute sécurité les plaquettes de silicium. Lors des processus de traitement chimique et à haute température, la dureté et la résistance élevées du matériau SiC garantissent que la plaquette de silicium ne sera pas endommagée ou déformée.

Processus de dépôt chimique de vapeur (CVD):

Dans le processus de MCV, la pagaie en porte-à-faux sic est utilisée pour transporter des plaquettes de silicium afin que les films minces puissent être déposés sur leurs surfaces. Principe de demande:

Dans le processus de MCV, la pagaie en porte-à-faux sic est utilisée pour fixer la tranche de silicium dans la chambre de réaction, et le précurseur gazeux se décompose à haute température et forme un film mince à la surface de la tranche de silicium. La résistance à la corrosion chimique du matériau SIC assure un fonctionnement stable sous des températures élevées et un environnement chimique.


Paramètre de produit de la palette en porte-à-faux SiC

Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé
Propriété Valeur typique
Température de travail (° C) 1600 ° C (avec oxygène), 1700 ° C (environnement réducteur)
Contenu SIC > 99,96%
Contenu Si gratuit <0,1%
Densité apparente 2,60-2,70 g / cm3
Porosité apparente <16%
Résistance à la compression > 600 MPa
Résistance à la flexion à froid 80-90 MPa (20 ° C)
Résistance à la flexion chaude 90-100 MPa (1 400 °C)
Extension thermique à 1500 ° C 4.70x10-6/ ° C
Conductivité thermique à 1200 ° C 23 W/m•K
Module élastique 240 GPA
Résistance aux chocs thermiques Extrêmement bon


Ateliers de production :

VeTek Semiconductor Production Shop


Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices :

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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