Qu'est-ce que le revêtement TAC? - Semi-conducteur Vetek

Revêtement tac (Revêtement en carbure de tantale) est un matériau de revêtement haute performance produit par le processus de dépôt de vapeur chimique (CVD). En raison des excellentes propriétés du revêtement TAC dans des conditions extrêmes, il est largement utilisé dans le processus de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans l'équipement et les composants qui nécessitent une température élevée et un environnement corrosif fort. Le revêtement TAC est généralement utilisé pour protéger les substrats (tels que le graphite ou la céramique) contre les dommages à haute température, les gaz corrosifs et l'usure mécanique.

Propriétés physiques du revêtement TAC

Caractéristiques du produit et les avantages

● Stabilité thermique extrêmement élevée:

Description des fonctionnalités: Le revêtement TAC a un point de fusion de plus de 3880 ° C et peut maintenir la stabilité sans décomposition ni déformation dans un environnement à température extrêmement élevée.

Avantage: Cela en fait un matériau indispensable dans les équipements semi-conducteurs à haute température tels que le revêtement TAC CVD et le suscepteur enduit de TAC, en particulier pour les applications dans les réacteurs MOCVD, tels que l'équipement Aixtron G5.

● Excellente résistance à la corrosion:

Description des caractéristiques: Le TAC a une inertie chimique extrêmement forte et peut résister efficacement à l'érosion des gaz corrosifs tels que les chlorures et les fluorures.

Avantages: Dans les processus semi-conducteurs impliquant des produits chimiques hautement corrosifs, le revêtement TAC protège les composants de l'équipement contre les attaques chimiques, prolonge la durée de vie et améliore la stabilité des processus, en particulier dans l'application du bateau à plaquette en carbure de silicium et d'autres composants clés.

● Excellente dureté mécanique:

Description de la caractéristique: La dureté du revêtement TAC est aussi élevée que 9-10 MOHS, ce qui le rend résistant à l'usure mécanique et à une contrainte à haute température.

Avantage: La propriété de dureté élevée fait du revêtement TAC particulièrement adapté à une utilisation dans des environnements à haute usure et à forte contrainte, garantissant la stabilité et la fiabilité à long terme de l'équipement dans des conditions difficiles.

● Faible réactivité chimique:

Description des caractéristiques: En raison de son inertie chimique, le revêtement TAC peut maintenir une faible réactivité dans des environnements à haute température et éviter les réactions chimiques inutiles avec des gaz réactifs.

Avantage: Ceci est particulièrement important dans le processus de fabrication de semi-conducteurs car il assure la pureté de l'environnement de processus et le dépôt de matériaux de haute qualité.

Le rôle du revêtement TAC dans le traitement des semi-conducteurs

● Protection des composants de l'équipement clés:

Description de la fonction: Le revêtement TAC est largement utilisé dans les composants clés de l'équipement de fabrication de semi-conducteurs, tels que le suscepteur à revêtement TAC, qui doit travailler dans des conditions extrêmes. En revêtement avec TAC, ces composants peuvent fonctionner pendant de longues périodes dans des environnements de gaz à haute température et corrosifs sans être endommagés.

● prolonger la durée de vie de l'équipement:

Description de la fonction: Dans les équipements MOCVD tels que Aixtron G5, le revêtement TAC peut considérablement améliorer la durabilité des composants de l'équipement et réduire le besoin de maintenance et de remplacement de l'équipement en raison de la corrosion et de l'usure.

● Améliorer la stabilité du processus:

Description de la fonction: Dans la fabrication de semi-conducteurs, le revêtement TAC assure l'uniformité et la cohérence du processus de dépôt en fournissant un environnement stable à haute température et chimique. Ceci est particulièrement important dans les processus de croissance épitaxiale tels que l'épitaxie du silicium et le nitrure de gallium (GAN).

● Améliorer l'efficacité du processus:

Description de la fonction: En optimisant le revêtement à la surface de l'équipement, le revêtement TAC peut améliorer l'efficacité globale du processus, réduire le taux de défaut et augmenter le rendement du produit. Cela est essentiel pour la fabrication de matériaux semi-conducteurs de haute précision et de haute pureté.

La stabilité thermique élevée, l'excellente résistance à la corrosion, la dureté mécanique et la faible réactivité chimique présentées par revêtement TAC pendant le traitement des semi-conducteurs en font un choix idéal pour protéger les composants de l'équipement de fabrication de semi-conducteurs. Alors que la demande de l'industrie des semi-conducteurs de températures élevées, de pureté élevée et de fabrication efficace continue d'augmenter, le revêtement TAC a de larges perspectives d'application, en particulier dans l'équipement et les processus impliquant le revêtement TAC CVD, le suscepteur enduit de TAC et l'Aixtron G5.

Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd est l'un des principaux fournisseurs de matériaux de revêtement avancés pour l'industrie des semi-conducteurs. Notre entreprise se concentre sur le développement de solutions de pointe pour l'industrie.

Nos principales offres de produits comprennentRevus de carbure de silicium (sic), Revêtements en carbure de tantale (TAC), SIC en vrac, poudres SIC et matériaux SIC de haute pureté, suscepteur en graphite enduit de Sic, anneaux de préchauffage, anneau de détournement en revêtement TAC, pièces de demi-lune, etc., la pureté est inférieure à 5 ppm, peut répondre aux exigences des clients.

Vetek semi-conducteur se concentre sur le développement de la technologie de pointe et des solutions de développement de produits pour l'industrie des semi-conducteurs.Nous espérons sincèrement devenir votre partenaire à long terme en Chine.