Anneau supérieur d'épitaxie recouvert de carbure de silicium CVD (SiC) de 8 pouces

Principales caractéristiques de l'anneau supérieur SiC Epi de 8 pouces

● Haute pureté : 99,9995 % minimum. Le métal ne migrera pas dans l'épi-couche. Cela maintient la concentration des porteurs de tranches là où elle doit être.

● Suppression des particules : La structure CVD est dense. Pas de pores. Il ne rejettera pas de particules pendant le fonctionnement de l'outil. Les usines obtiennent ainsi de meilleurs rendements.

● Résistance à la chaleur : L'anneau reste stable à 1500°C. Un faible CTE (expansion thermique) signifie aucune déformation pendant les cycles rapides de chauffage/refroidissement.

● Stabilité chimique : Le CVD SiC solide résiste aux gaz H2 et HCl. Il résiste également au NH3. Il n’y a aucun revêtement à décoller. Il ne se dégrade pas dans les environnements CVD difficiles.

● Durée de vie des composants : La surface est extrêmement dure. Il survit aux nettoyages chimiques répétés HF/HCl. Cela réduit la fréquence de remplacement. Cela réduit également le coût total de possession de l’usine de fabrication.

Spécifications techniques

L'uniformité de l'épaisseur du revêtement entre les lots est contrôlée à 10 um

Applications

L'anneau supérieur CVD SiC epi est largement utilisé dans :

● Réacteurs d'épitaxie silicium (Si Epi)

● Epitaxie au carbure de silicium (SiC Epi)

● Systèmes MOCVD

● Équipement de dépôt CVD

Couramment associé à :

● Suscepteurs

● Supports de plaquettes

● Préchauffer les anneaux

● Réacteurs d'épitaxie

Pourquoi choisir l'anneau supérieur VETEK SiC Epi ?

● Capacité de fabrication complète : 

De la purification des matières premières à l'usinage de précision et au revêtement CVD, VETEK contrôle l'ensemble du processus de production pour garantir une qualité constante de qualité semi-conducteur.

● Haute précision : 

Nous utilisons un usinage au niveau du micron. L'épaisseur du CVD est très uniforme. Cela fait que chaque anneau fonctionne exactement de la même manière.

FAQ

(1) À quoi sert l'anneau supérieur épi SiC ?

L'anneau gère le flux de chaleur et de gaz. Cela garantit que le film mince se développe uniformément sur la plaquette.

(2) Pourquoi le CVD SiC est-il meilleur que le graphite ?

Le graphite est poreux. Le graphite a des pores et libère du gaz. Le SiC CVD solide est dense et propre. Il dure beaucoup plus longtemps dans les outils corrosifs.

(3) L'anneau supérieur SiC de 8 pouces peut-il être personnalisé ?

Oui. Nous construisons selon vos dessins d’outils spécifiques. Nous pouvons ajuster la géométrie en fonction de votre processus.

(4).Quelles industries utilisent les anneaux d'épitaxie SiC ?

Ils sont principalement utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs, notamment dans les dispositifs de puissance, les dispositifs RF et la production de plaquettes SiC.