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Bateau à plaquettes SiC
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Bateau à plaquettes SiC

Le bateau à plaquette SIC est utilisé pour transporter la tranche, principalement pour le processus d'oxydation et de diffusion, pour s'assurer que la température peut être répartie uniformément sur la surface de la tranche. La stabilité à haute température et la conductivité thermique élevée des matériaux SIC assurent un traitement semi-conducteur efficace et fiable. Vetek Semiconductor s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs.

Ce qui suit est l'introduction du SiC Wafer Boat de haute qualité de VeTek Semiconductor, dans l'espoir de vous aider à mieux comprendre SiC Wafer Boat. Bienvenue aux nouveaux et anciens clients pour continuer à coopérer avec nous pour créer un avenir meilleur !


Aperçu de la demande de bateaux à plaquettes SIC:

Les bateaux à gaufrettes carrés horizontaux SIC servent de composants critiques dans les processus de diffusion à haute température, fonctionnant comme des supports de plaquette. Ces bateaux jouent un rôle vital dans la gestion de WALLICAL des plaquettes délicates en toute sécurité et efficacement pendant le traitement.


Exigences des fonctionnalités du bateau à plaquettes SiC :

Force à haute température: le bateau doit démontrer une résistance exceptionnelle à des températures élevées pour supporter les environnements difficiles du traitement à haute température.

Stabilité chimique à haute température: le maintien de l'intégrité structurelle et de la composition chimique dans des conditions extrêmes à haute température assure la pureté du processus.

Performances sans particules: le bateau doit être exempt de génération de particules ou de contamination pour protéger la qualité des tranches transformées.


Pourquoi choisir le SiC Wafer Boat de Vetek Semiconductor ?

Spécifications polyvalentes: Vetek Semiconductor offre une gamme de spécifications standard et fournit des services personnalisés pour répondre aux exigences spécifiques.

Qualité et rapidité : Vetek Semiconductor garantit des produits de haute qualité et une livraison rapide, répondant aux demandes des industries en évolution rapide.

Expertise matérielle : L’utilisation d’un matériau dense en carbure de silicium recristallisé garantit des performances et une longévité supérieures des bateaux.

Seuil de température élevée : les bateaux Vetek Semiconductor affichent une température de fonctionnement maximale de 1 600 °C, adaptée aux processus à haute température les plus exigeants.

Rentabilité : les bateaux Vetek Semiconductor offrent un rapport coût-performance très compétitif, offrant un bon rapport qualité-prix.

Durabilité : Avec une longue durée de vie, les bateaux Vetek Semiconductor offrent fiabilité et cohérence dans les processus de manipulation des plaquettes.

Vetek Semiconductor se distingue sur le marché par son engagement en faveur de la qualité, de ses options de personnalisation, de son innovation en matière de matériaux, de ses capacités à haute température, de sa rentabilité et de sa longévité, ce qui en fait le choix préféré des fabricants de semi-conducteurs du monde entier.


Paramètre de produit du SiC Wafer Boat :

Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé
Propriété Valeur typique
Température de travail (° C) 1600°C (avec oxygène), 1700°C (environnement réducteur)
Contenu SiC > 99,96%
Contenu SI gratuit <0,1%
Densité apparente 2,60-2,70 g/cm3
Porosité apparente <16%
Résistance à la compression > 600 MPa
Résistance à la flexion froide 80-90 MPa (20 ° C)
Résistance à la flexion chaude 90-100 MPa (1400 ° C)
Dilatation thermique à 1 500 °C 4.70x10-6/ ° C
Conductivité thermique à 1200 ° C 23 W/m•K
Module élastique 240 GPa
Résistance aux chocs thermiques Extrêmement bon


Ateliers de production :

VeTek Semiconductor Production Shop


Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices :

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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