Support rotatif de graphite

Le suscepteur de la plaque est un must pour le processus de croissance épitaxiale. Au cours de la croissance épitaxiale, le substrat de la plaquette est placé dans le suscepteur de suscepteurs de graphite à haute pureté du Suscepteur. Dans la croissance épitaxiale du nitrure de gallium (processus MOCVD), ils jouent un rôle de soutien dans la rotation du substrat. Le suscepteur en graphite rotatif de Vetek Semiconductor présente les avantages suivants:

● Haute pureté: Le contenu des impuretés dans les suscepteurs rotatifs en graphite de haute pureté est inférieur à 5 ppm. Ce niveau de graphite de pureté peut éviter la libération d'impuretés à des températures élevées pour assurer la propreté du processus de dépôt. Par conséquent, aucun revêtement n'est requis pour répondre aux exigences de travail.

Graphite de haute pureté

● Excellentes propriétés thermiques: Le graphite de haute pureté a une excellente conductivité thermique et sa conductivité thermique est beaucoup plus élevée que les autres matériaux. Le coefficient de dilatation thermique est faible et peut maintenir des performances stables lors de la conduite de température.

● Bonnes propriétés mécaniques: Le graphite de haute pureté a une bonne résistance à l'usure et de la ténacité, ce qui peut répondre aux exigences complexes du processus de MCV.

● Excellente conductivité: La conductivité est cent fois plus élevée que celle des minéraux généraux non métalliques.

● Stabilité chimique: Il peut résister à la corrosion des acides, des alcalis et des solvants organiques

De plus, en tant que fabricant et fournisseur de premier plan de suscepteur rotatif de graphite de haute pureté en Chine, Vetek Semiconductor fournit également de haute qualitéSIC en revêtement en graphite Suscepteur pour MOCVD, Sic en revêtement en revêtement, Support de graphite enduit de tacetMocvd sic revêtement suscepteur.Vetek Semiconductor s'engage à fournir des technologies de pointe et des solutions de produits pour l'industrie des semi-conducteurs et prend également en charge les services personnalisés. Nous sommes sincèrement impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

It semi-conducteurGraphite rotation de produits de produit de suscepteur: