Support de revêtement en carbure de tantale

La fonction principale du semi-conducteur VetekRevêtement en carbure de tantale (TAC)Le soutien consiste à améliorer lerésistance à la chaleur, résistance à l'usure et résistance à la corrosiondu substrat en enrobant une couche de revêtement en carbure de tantale, afin d'améliorer la précision et la fiabilité du processus et prolonger la durée de vie des composants. Il s'agit d'un produit de revêtement haute performance utilisé dans le domaine du traitement des semi-conducteurs.

Le suppor de revêtement en carbure de carbure de semi-conducteur de Vetek a une dureté MOHS de près de 9 ~ 10, deuxième juste derrière le diamant. Il a une résistance à l'usure extrêmement forte et peut efficacement résister à l'usure et un impact en surface pendant le traitement, étendant ainsi efficacement la durée de vie des composants de l'équipement. Combiné avec son point de fusion élevé d'environ 3880 ° C, il est souvent utilisé pour le revêtement des composants clés de l'équipement semi-conducteur, tels que les revêtements de surface des structures de support, l'équipement de traitement thermique, les chambres ou les joints dans l'équipement de semi-conducteur pour améliorer sa résistance à l'usure et sa résistance à haute température.

En raison du point de fusion extrêmement élevé du carbure de tantale d'environ 3880 ° C, dans des processus de traitement des semi-conducteurs tels queDépôt de vapeur chimique (CVD)etDépôt de vapeur physique (PVD), Le revêtement TAC avec une forte résistance à la température élevée et une résistance à la corrosion chimique peut protéger efficacement les composants de l'équipement et empêcher la corrosion ou les dommages au substrat dans des environnements extrêmes, offrant une protection efficace pour des environnements à haute température dans la fabrication de plaquettes. Cette caractéristique détermine également que le support de revêtement en carbure de Tantalum de Vetek semi-conducteur est souvent utilisé dans les processus de gravure et de corrosifs.

Le support de revêtement en carbure de tantale a également la fonction de réduire la contamination des particules. Pendant le traitement des plaquettes, l'usure en surface produit généralement une contamination par les particules, ce qui affecte la qualité du produit de la tranche. Les caractéristiques des produits extrêmes du revêtement TAC de près de 9 à 10 mohs de dureté peuvent réduire efficacement cette usure, réduisant ainsi la génération de particules. Combiné avec l'excellente conductivité thermique du revêtement TAC (environ 21 W / m · K), il peut maintenir une bonne conductivité thermique dans des conditions à haute température, améliorant ainsi considérablement le rendement et la cohérence de la fabrication de la plaquette.

Les principaux produits de revêtement TAC principaux de Vetek Semiconductor comprennentChauffe-revêtement TAC, CVD TAC revêtement de creuset, TAC ROTATION ROTATION SUSCEURetTAC TAC SOIR SEAT, etc., et prends en charge les services de produits personnalisés. Vetek Semiconductor s'engage à fournir d'excellentes produits et solutions techniques à l'industrie des semi-conducteurs. Nous espérons sincèrement devenir votre partenaire à long terme en Chine.

Enrobage de carbure de tantale (TAC) sur une section transversale microscopique:

Propriétés physiques de base du revêtement TAC CVD：