Qu'est-ce que la céramique SIC pressée à chaud?

Céramique en carbure de silicium

Céramique en carbure de silicium (sic)est un matériau céramique avancé contenant du silicium et du carbone. Dès 1893, la poudre de SiC synthétisée artificiellement a commencé à être produite en masse comme un abrasif. Les grains de carbure de silicium préparés peuvent être frittés pour former très fortcéramique, qui estCéramique sic.

Structure de céramique sic

Les céramiques SIC ont les excellentes caractéristiques d'une dureté élevée, d'une résistance élevée et d'une résistance à la compression, d'une stabilité à haute température, d'une bonne conductivité thermique, d'une résistance à la corrosion et d'un coefficient d'extension faible. Les céramiques SIC sont actuellement largement utilisées dans les domaines des automobiles, de la protection de l'environnement, de l'aérospatiale, des informations électroniques, de l'énergie, etc., et sont devenus un composant ou une partie de base importante irremplaçable dans de nombreux domaines industriels.

Comment obtenirCéramique sic?

À l'heure actuelle, le processus de préparation de la céramique en carbure de silicium est divisé enfrittage de réaction, frittage sans pression, frittage pressé chaudetRecristallisation frittage. Le frittage de réaction a le marché le plus important et le faible coût de production; Le frittage sans pression a un coût élevé mais d'excellentes performances; Le frittage pressé à chaud a les meilleures performances mais le coût élevé, et est principalement utilisé dans les champs de haute précision tels que l'aérospatiale et les semi-conducteurs; Le frittage de recristallisation produit des matériaux poreux avec de mauvaises performances. Par conséquent, la céramique sic utilisée dans l'industrie des semi-conducteurs est souvent préparée par frittage à chaud.

Les avantages et les inconvénients relatifs des céramiques SIC pressées à chaud (HPSC) par rapport aux sept autres types de SiC:

Marchés principaux et performances de SIC par différentes méthodes de production

Préparation de la céramique SIC par frittage pressé chaud:

   •Préparation des matières premières: La poudre de carbure de silicium de haute pureté est sélectionnée comme matière première, et elle est prétraitée par le broyage à billes, le dépistage et d'autres processus pour garantir que la distribution de la taille des particules de la poudre est uniforme.

   •Conception de moisissure: Concevez un moule approprié en fonction de la taille et de la forme de la céramique en carbure de silicium à préparer.

   •Chargement de la moisissure et pressé: La poudre de carbure de silicium prétraitée est chargée dans le moule, puis pressée dans des conditions à haute température et à haute pression.

   •Frittage et refroidissement: Une fois le pressé terminé, le moule et le blanc en carbure de silicium sont placés dans une fournaise à haute température pour le frittage. Pendant le processus de frittage, la poudre de carbure de silicium subit progressivement une réaction chimique pour former un corps en céramique dense. Après le frittage, le produit est refroidi à température ambiante en utilisant une méthode de refroidissement appropriée.

Diagramme conceptuel de la fournaise à induction en carbure de silicium à chaud:

  • (1) vecteur de charge de presse hydraulique; 

  • (2) piston en acier hydraulique de presse; 

  • (3) dissipateur de chaleur; 

  • (4) Piston de transfert de charge de graphite haute densité; 

  • (5) Day à chaud en graphite à haute densité; 

  • (6) Isolation du four à charge en graphite;

  • (7) couvercle du four à eau hermétique; 

  • (8) tuyau de bobine à induction en cuivre refroidi par eau incrusté dans la paroi du four étanche; 

  • (9) Couche d'isolation de fibre de fibre compressée compressée; 

  • (10) four à refroidissement à eau hermétique;

  • (11) Poutre inférieur à charge de pression de presse hydraulique montrant le vecteur de réaction de force; 

  • (12) corps en céramique HPSC

Les céramiques sic pressées à chaud sont:

  •HautRity:0,98% (le SIC monocristalle est 100% pur).

  •Entièrement dense: Une densité 100% est facilement réalisée (le sic monocristallisé est 100% dense).

  •Verrouillageétalline.

  •Microstructure de céramique SIC à grains ultrafines Hot pressée. Cela rend la céramique sic pressée à chaud supérieure à toutes les autres formes de sic, y compris le sic en cristal monocristallé et le sic fritté direct.

Par conséquent, la céramique SIC a des propriétés supérieures qui dépassent d'autres matériaux en céramique.

Dans l'industrie des semi-conducteurs, la céramique sic a été largement utilisée, comme les disques de broyage en carbure de silicium pour broyerplaquettes, Effecteur final de la manipulation de la plaquettePour transporter des plaquettes et des pièces dans la chambre de réaction de l'équipement de traitement thermique, etc.

Les céramiques SIC jouent un rôle énorme dans toute l'industrie des semi-conducteurs, et avec la mise à niveau continue de la technologie des semi-conducteurs, ils occuperont une position plus importante.

Désormais, abaisser la température de frittage des céramiques SIC et trouver de nouveaux processus de production bon marché sont toujours la recherche des travailleurs matériels. Dans le même temps, explorer et développer tous les avantages de la céramique SIC et bénéficier à l'humanité est la tâche principale du semi-conducteur de Vetek. Nous pensons que la céramique SIC aura des perspectives de développement et d'application larges.

Propriétés physiques du carbure de silicium à VeteteSemicon:

Vetek Semiconductor est un fabricant et fournisseur chinois professionnel de Transporteur de bateaux à plaquettes de haute pureté, Pagaie en porte-à-faux pureté de pureté, Pagaie en porte-à-faux sic, Bateau à plaquette en carbure de silicium, Mocvd sic revêtement suscepteuret Autres céramiques semi-conducteurs. Vetek Semiconductor s'engage à fournir des solutions avancées pour divers produits de revêtement pour l'industrie des semi-conducteurs.

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