Revêtement SiC Plateau épitaxial en silicium monocristallin

Le plateau épitaxial monocristallin épitaxial de silicium monocristallin de revêtement SIC est spécialement conçu pour la croissance épitaxiale monocristalline du silicium et joue un rôle important dans l'application industrielle de l'épitaxie en silicium monocristallin et des dispositifs semi-conducteurs connexes.Revêtement SiCaméliore non seulement considérablement la résistance à la température et à la corrosion du plateau, mais garantit également une stabilité à long terme et d'excellentes performances dans des environnements extrêmes.

Avantages du revêtement SiC

●  Conductivité thermique élevée: Le revêtement SIC améliore considérablement la capacité de gestion thermique du plateau et peut disperser efficacement la chaleur générée par des dispositifs haute puissance.

● Résistance à la corrosion: Le revêtement SIC fonctionne bien dans des environnements à haute température et corrosifs, assurant une durée de vie et une fiabilité à long terme.

●  Uniformité de la surface: Fournit une surface plate et lisse, évitant efficacement les erreurs de fabrication causées par la surface inégale et assurant la stabilité de la croissance épitaxiale.

Selon la recherche, lorsque la taille des pores du substrat de graphite se situe entre 100 et 500 nm, un revêtement de gradient SIC peut être préparé sur le substrat de graphite, et le revêtement SIC a une capacité anti-oxydation plus forte. La résistance à l'oxydation du revêtement SIC sur ce graphite (courbe triangulaire) est beaucoup plus forte que celle des autres spécifications du graphite, adaptée à la croissance de l'épitaxie de silicium monocristallite. Le revêtement monocristallin épitaxial monocristallin de revêtement SIC du semi-conducteur utilise le graphite SGL comme le graphite SGL comme lesubstrat en graphite, qui est capable d’atteindre de telles performances.

Le plateau épitaxial en silicium monocristallin à revêtement SiC de VeTek Semiconductor utilise les meilleurs matériaux en graphite et la technologie de traitement de revêtement SiC la plus avancée. Plus important encore, quels que soient les besoins des clients en matière de personnalisation des produits, nous pouvons faire de notre mieux pour y répondre.

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC

Magasins de production de semi-conducteurs Vetek