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Bateau à plaquette en carbure de silicium
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Bateau à plaquette en carbure de silicium

Le bateau à plaquette en carbure de silicium de silicium de haute pureté de Vetek est fait de matériau en carbure de silicium extrêmement pur avec une excellente stabilité thermique, une résistance mécanique et une résistance chimique. Le bateau à gaufrette en carbure de silicium de haute pureté est utilisé dans des applications de zone chaude dans la fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans des environnements à haute température, et joue un rôle important dans la protection des plaquettes, le transport des matériaux et le maintien de processus stables. Vetek Semiconductor continuera de travailler dur pour innover et améliorer les performances du bateau à plafonds en carbure de silicium de haute pureté pour répondre aux besoins en évolution de la fabrication de semi-conducteurs. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine. Nous sommes liés à nous enquêter.

En tant que fabricant professionnel, Vetek Semiconductor aimerait vous fournir un bateau à plaquette en carbure de silicium de haute qualité.

Excellentes performances thermiques: le bateau à plaquette en carbure de silicium à haute pureté de Vetek de Vetek a d'excellentes performances thermiques, sont stables dans des environnements à haute température et ont une excellente conductivité thermique, ce qui leur permet de fonctionner à des températures bien au-dessus de l'ambiance. Cela rend le bateau à plaquette en carbure de silicium de haute pureté idéal pour les applications d'endurance à haute puissance et à haute température.

Excellente résistance à la corrosion: le bateau à plaquette en carbure de silicium de haute pureté est un outil clé pour la fabrication de semi-conducteurs, et il a une forte résistance à divers agents corrosifs. En tant que transporteur fiable, il peut résister aux effets de la température élevée et de la corrosion dans un environnement chimique, assurant le traitement sûr et efficace des plaquettes de carbure de silicium. En tant que transporteur fiable, il peut résister aux effets de la température élevée et de la corrosion dans un environnement chimique, assurant le traitement sûr et efficace des plaquettes de carbure de silicium.

Intégrité dimensionnelle: le bateau à gaufrette en carbure de silicium de haute pureté ne rétrécit pas pendant le processus de frittage, en maintenant l'intégrité dimensionnelle et en éliminant les contraintes résiduelles qui pourraient provoquer une déformation des pièces ou des fissures. Cela permet la fabrication de pièces de forme complexe avec des dimensions précises. Que ce soit dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs ou d'autres champs industriels, un bateau à plafonde en carbure de silicium de haute pureté offre un contrôle dimensionnel fiable pour garantir que les pièces répondent aux spécifications.

En tant qu'outil polyvalent, le bateau-borne en carbure de silicium de haute pureté de Vetek peut être appliqué à une variété de technologies de fabrication de semi-conducteurs, y compris la croissance épitaxiale et le dépôt chimique de vapeur. Sa conception durable et sa nature non réactive font du bateau à plaquette en carbure de silicium de haute pureté adaptée à une variété de produits chimiques de traitement, garantissant qu'il peut s'adapter en douceur à différents environnements de traitement.

Dans la fabrication de semi-conducteurs, la croissance épitaxiale et le dépôt de vapeur chimique sont des étapes de processus courantes utilisées pour cultiver des plaquettes et des couches minces de haute qualité. Le bateau SIC de haute pureté joue un rôle important en tant que transporteur, qui peut résister à l'influence de températures et de produits chimiques élevés pour assurer une croissance précise et des processus de dépôt.

En plus de sa conception durable, le bateau SIC de haute pureté est également non réactif. Cela signifie qu'il ne réagira pas négativement avec les produits chimiques de traitement, maintenant ainsi l'intégrité et les performances du bateau. Cela offre aux fabricants de semi-conducteurs un outil fiable pour assurer la cohérence et la répétabilité dans le processus de production.


Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé

Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé
Propriété Valeur typique
Température de travail (° C) 1600 ° C (avec oxygène), 1700 ° C (environnement réducteur)
Contenu SIC > 99,96%
Contenu SI gratuit <0,1%
Densité en vrac 2,60-2,70 g / cm3
Porosité apparente <16%
Résistance à la compression > 600 MPa
Résistance à la flexion froide 80-90 MPa (20 ° C)
Résistance à la flexion chaude 90-100 MPa (1400 ° C)
Extension thermique à 1500 ° C 4.70 10-6/ ° C
Conductivité thermique à 1200 ° C 23 w / m • k
Module élastique 240 GPA
Résistance aux chocs thermiques Extrêmement bon


Comparez l'atelier de production de semi-conducteurs:

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Aperçu de la chaîne de l'industrie de l'épitaxie des puces semi-conductrices:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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