Chauffage de graphite de zone chaude

Les radiateurs en graphite Vetek Semiconductor Hot Zone sont conçus pour gérer les conditions extrêmes trouvées dans les fours à haute température. Les radiateurs sont capables de résister aux environnements difficiles couramment trouvés dans un traitement à haute température, selon les caractéristiques du produit spécifiques énumérées ci-dessous.

● Distribution uniforme de la température

Le radiateur de graphite Hot Zone est connu pour ses excellentes caractéristiques de chauffage uniformes, grâce à sa combinaison parfaite de sélection de matériaux de haute précision et de technologie de traitement de précision. Une telle uniformité assure une distribution en douceur de la température sur toute la surface de chauffage, réduisant efficacement le traitement inégal des plaquettes en raison de gradients thermiques, améliorant ainsi le rendement des produits et la cohérence des performances de l'équipement.

● Excellente résistance à la corrosion

Le réchauffeur de graphite pour la zone chaude présente une forte résistance à divers gaz et produits chimiques corrosifs rencontrés dans les processus de fabrication de semi-conducteurs à haute température. L'inertie naturelle des matériaux de graphite permet aux radiateurs de graphite de maintenir la stabilité à long terme dans des environnements difficiles, réduisant considérablement le risque de contamination et prolongeant la durée de vie de l'équipement.

● Excellentes performances anti-oxydation

Comparé aux matériaux de graphite traditionnels, le chauffage en graphite de zone chaude a toujours une excellente capacité d'anti-oxydation à des températures élevées. Cette caractéristique est cruciale pour prévenir la détérioration oxydative de la surface du chauffage pendant le traitement à haute température et éviter la génération de contamination des particules dans la chambre de traitement, garantissant le fonctionnement efficace continu de l'équipement.

● Pureté chimique ultra-élevée

Après un traitement strict, notre radiateur en graphite a atteint un niveau extrêmement élevé de pureté chimique, empêchant efficacement l'introduction d'impuretés nocives dans l'environnement de traitement des semi-conducteurs. Cette pureté est essentielle pour protéger l'intégrité des matériaux de semi-conducteur de précision et des dispositifs de production qui répondent aux propriétés électriques et optiques attendues.

● Force et stabilité mécaniques élevées

Le chauffage en graphite de zone chaude de VetekSemicon a une excellente résistance mécanique et stabilité dimensionnelle, en maintenant l'intégrité structurelle même dans des conditions de fonctionnement à haute température. Que ce soit face à des cycles thermiques fréquents ou à une contrainte mécanique lourde, les radiateurs de graphite pour la zone chaude maintiennent leur robustesse et fournissent un support solide et fiable pour les environnements de traitement des semi-conducteurs sévères.

En outre, VetekSeMICON propose également une variété de tailles personnalisées et de configurations de radiateurs en graphite pour répondre aux besoins de différents processus de fabrication de semi-conducteurs. Nous espérons sincèrement être votre partenaire à long terme en Chine.