Transporteur de bateaux à plaquettes de haute pureté

Le support de bateau de plaquettes SiC de haute pureté VeTekSemi est un composant de roulement important utilisé dans les fours de recuit, les fours de diffusion et d'autres équipements dans le processus de fabrication de semi-conducteurs. Le support de bateau à plaquettes SiC de haute pureté est généralement constitué d'un matériau en carbure de silicium de haute pureté et comprend principalement les pièces suivantes :

• Corps de support pour bateau: une structure similaire à un support, spécialement utilisé pour transporterplaquettes de siliciumou d'autres matériaux semi-conducteurs.

• Structure de soutien: Sa conception de structure de support lui permet de supporter de lourdes charges à haute température et ne se déformera pas ou ne s'endommagera pas lors du traitement à haute température.

matériau en carbure de silicium

Propriétés physiques deCarbure de silicium recristallisé：

Si les exigences du processus de production sont plus élevées,Revêtement CVD-SiCPeut être effectué sur le porte-bateaux à plaquettes SIC de haute pureté pour faire atteindre plus de 99,99995% la pureté, améliorant encore sa résistance à la température élevée.

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SIC:

Pendant le traitement à haute température, le porte-bateau de la plaquette SIC de haute pureté permet de chauffer uniformément la tranche de silicium pour éviter la surchauffe locale. De plus, la résistance à haute température du matériau en carbure de silicium lui permet de maintenir la stabilité structurelle à des températures de 1200 ° C ou même plus.

Pendant le processus de diffusion ou de recuit, la pagaie en porte-à-faux et le transporteur de bateaux à plaquettes SIC de haute pureté fonctionnent ensemble. Lepagaie en porte-à-fauxPousse lentement le porte-bateau de la plaquette SIC de haute pureté portant la tranche de silicium dans la chambre de la fournaise et l'arrête à une position désignée pour le traitement. 

Le support de bateau de tranches de SiC de haute pureté maintient le contact avec la tranche de silicium et est fixé dans une position spécifique pendant le processus de traitement thermique, tandis que la palette en porte-à-faux aide à maintenir l'ensemble de la structure dans la bonne position tout en assurant l'uniformité de la température.

Le support de bateau à plaquettes SiC de haute pureté et la palette en porte-à-faux fonctionnent ensemble pour garantir la précision et la stabilité du processus à haute température.

Semi-conducteur VeTekvous propose un support de bateau de plaquettes SiC de haute pureté personnalisé en fonction de vos besoins. Dans l'attente de votre demande.

Semi-conducteur VeTekBoutiques de transporteurs de bateaux à plaquettes de haute pureté: