Pagaie en porte-à-faux pureté de pureté

La pagaie en porte-à-faux en cantilever de haute pureté est un composant clé utilisé dans l'équipement de traitement des semi-conducteurs. Le produit est en matériau de carbure de silicium de haute pureté (SIC).  Les clients peuvent librement choisir un matériau SIC fritté ou un matériau SIC remisstal. Avec l'aide de ses excellentes caractéristiques de haute pureté, de stabilité thermique élevée et de résistance à la corrosion, il est largement utilisé dans des processus tels que le transfert de la plaquette, le support et le traitement à haute température, offrant une garantie fiable pour garantir la précision des processus et la qualité du produit.

La paddle en porte-à-faux en cantilever de haute pureté joue les rôles spécifiques suivants dans le processus de traitement des semi-conducteurs:

Wafer transfer: La pagaie en porte-à-faux de la pureté SIC est généralement utilisée comme dispositif de transfert de plaquette dans des fours de diffusion ou d'oxydation à haute température. Sa dureté élevée le rend résistant à l'usure et pas facile à déformer à long terme, et peut garantir que la tranche reste positionnée avec précision pendant le processus de transfert. Combinée à sa température élevée et à sa résistance à la corrosion, il peut transférer des plaquettes en toute sécurité dans et hors du tube de la fournaise dans des environnements à haute température sans causer de contamination ou de dommage aux plaquettes.

Support de tranche: Le matériau SIC a un faible coefficient d'expansion thermique, ce qui signifie que sa taille change moins lorsque la température change, ce qui aide à maintenir un contrôle précis dans le processus. Dans le dépôt chimique de vapeur (CVD) ou les processus de dépôt physique de vapeur (PVD), la pagaie en porte-à-faux sic est utilisée pour soutenir et fixer la plaquette pour garantir que la plaquette reste stable et plate pendant le processus de dépôt, améliorant ainsi l'uniformité et la qualité du film.

Application de processus à haute température: La pagaie en porte-à-faux sic a une excellente stabilité thermique et peut résister à des températures allant jusqu'à 1600 ° C. Par conséquent, ce produit est largement utilisé dans le recuit à haute température, l'oxydation, la diffusion et d'autres processus.

Propriétés physiques de base de la pagaie en porte-à-faux de la haute pureté:

Pagaie en porte-à-faux pureté de puretéboutiques:

Aperçu de la chaîne de l'industrie de l'épitaxie des puces semi-conductrices: