Bague en carbure de tantale

Le cycle de carbure de tantale (TAC) de Vetek Semiconductor utilise du graphite de haute qualité comme matériau de base et, grâce à sa structure unique, est capable de maintenir sa forme et ses propriétés mécaniques dans les conditions extrêmes d'une fournaise de croissance cristalline. Une forte résistance à la chaleur du graphite lui donne une excellente stabilité tout au longprocessus de croissance cristalline.

La couche externe de l'anneau TAC est recouverte d'unrevêtement en carbure de tantale, un matériau connu pour sa dureté extrêmement élevée, son point de fusion de plus de 3880 ° C, et une excellente résistance à la corrosion chimique, ce qui le rend particulièrement adapté aux environnements de fonctionnement à haute température. Le revêtement en carbure de tantale fournit une forte barrière pour prévenir efficacement les réactions chimiques violentes et s'assurer que le noyau de graphite n'est pas corrodé par des gaz de four à haute température.

PendantCroissance des cristaux en carbure de silicium (sic), les conditions de croissance stables et uniformes sont essentielles pour assurer des cristaux de haute qualité. Le cycle de revêtement en carbure de tantale joue un rôle vital dans la régulation du débit de gaz et l'optimisation de la distribution de la température dans la fournaise. En tant que cycle de guidage de gaz, l'anneau TAC assure une distribution uniforme de l'énergie thermique et des gaz de réaction, assurant une croissance uniforme et une stabilité des cristaux SIC.

De plus, la conductivité thermique élevée du graphite combinée avec l'effet protecteur du revêtement de carbure de tantale permet à l'anneau de guidage TAC de fonctionner de manière stable dans l'environnement à haute température requis pour la croissance des cristaux SIC. Sa résistance structurelle et sa stabilité dimensionnelle sont cruciales pour maintenir les conditions de la fournaise, ce qui affecte directement la qualité des cristaux produits. En réduisant les fluctuations thermiques et les réactions chimiques dans le four, le cycle de revêtement TAC aide à générer des cristaux avec d'excellentes propriétés électroniques pour les applications de semi-conducteur haute performance.

Le bague en carbure de tantale de Vetek Semiconductor est un composant clé deFours de croissance en cristal en carbure de siliciumet se distingue par son excellente durabilité, sa stabilité thermique et sa résistance chimique. Sa combinaison unique de noyau de graphite et de revêtement TAC lui permet de maintenir l'intégrité structurelle et la fonctionnalité dans des conditions difficiles. En contrôlant précisément la température et le débit de gaz à l'intérieur du four, l'anneau de revêtement TAC fournit les conditions nécessaires à la production de cristaux SIC de haute qualité, qui sont essentiels pour la production de composants semi-conducteurs de pointe.

Enrobage de carbure de tantale (TAC) sur une section transversale microscopique：