Revêtement en carbure de tantale

VeTek semiconductor est l'un des principaux fabricants de matériaux de revêtement en carbure de tantale pour l'industrie des semi-conducteurs. Nos principales offres de produits comprennent des pièces de revêtement en carbure de tantale CVD, des pièces de revêtement TaC frittées pour la croissance cristalline de SiC ou le processus d'épitaxie de semi-conducteurs. Ayant passé la norme ISO9001, VeTek Semiconductor a un bon contrôle de la qualité. VeTek Semiconductor s'engage à devenir un innovateur dans l'industrie des revêtements en carbure de tantale grâce à la recherche et au développement continus de technologies itératives.

Les principaux produits sontAnneau de guidage revêtu de TaC, Anneau de guidage à trois pétales avec revêtement CVD TaC, Demi-lune revêtue de carbure de tantale TaC, Suscepteur épitaxial planétaire SiC à revêtement CVD TaC, Anneau de revêtement en carbure de tantale, Graphite poreux recouvert de carbure de tantale, Suscepteur de rotation du revêtement TaC, Bague en carbure de tantale, Plaque de rotation de revêtement TaC, Suscepteur de plaquette revêtue de TaC, Anneau déflecteur avec revêtement TaC, Couverture de revêtement CVD TaC, Mandrin à revêtement TaCetc., la pureté est inférieure à 5 ppm, peut répondre aux exigences des clients.

Le graphite de revêtement TaC est créé en recouvrant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). L'avantage est illustré dans l'image ci-dessous :

Excellent properties of TaC coating graphite

Le revêtement en carbure de tantale (TaC) a attiré l'attention en raison de son point de fusion élevé allant jusqu'à 3 880 °C, de son excellente résistance mécanique, de sa dureté et de sa résistance aux chocs thermiques, ce qui en fait une alternative intéressante aux processus d'épitaxie de semi-conducteurs composés avec des exigences de température plus élevées. tels que le système Aixtron MOCVD et le processus d'épitaxie LPE SiC. Il a également une large application dans le processus de croissance cristalline SiC de la méthode PVT.

Principales fonctionnalités:

●Stabilité de la température

●Ultra haute pureté

●Résistance à H2, NH3, SiH4,Si

●Résistance au stock thermique

●Forte adhérence au graphite

●Couverture du revêtement conforme

● Taille jusqu'à 750 mm de diamètre (le seul fabricant en Chine atteint cette taille)

Applications:

●Support de plaquette

● Suscepteur de chauffage inductif

● Élément chauffant résistif

●Disque satellite

●Pommeau de douche

●Bague de guidage

●Récepteur LED Epi

●Buse d'injection

●Anneau de masquage

● Bouclier thermique

Revêtement en carbure de tantale (TaC) sur une section microscopique:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Paramètre du revêtement en carbure de tantale VeTek Semiconductor:

Propriétés physiques du revêtement TaC
Densité	14,3 (g/cm³)
Émissivité spécifique	0.3
Coefficient de dilatation thermique	6.3 10^-6/K
Dureté (HK)	2000 Hong Kong
Résistance	1×10^-5Ohm*cm
Stabilité thermique	<2500℃
Modifications de la taille du graphite	-10~-20um
Épaisseur du revêtement	Valeur typique ≥20um (35um±10um)

Données EDX du revêtement TaC：

EDX data of TaC coating

Données sur la structure cristalline du revêtement TaC:

Élément	Pourcentage atomique
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Moyenne
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
Eux	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandrin de revêtement TaC Disque planétaire à revêtement TaC
Plaque enduite de TaC Plaque de rotation de revêtement TaC Récepteur de revêtement TaC Revêtement CVD TaC Anneau de revêtement CVD TaC Plaque de revêtement TaC

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Plaque de rotation de revêtement TAC

La plaque de rotation de revêtement TAC produite par Vetek Semiconductor dispose d'un revêtement TAC exceptionnel, avec son revêtement TAC exceptionnel, sa plaque de rotation de revêtement TAC a une résistance à haute température remarquable et une inertie chimique, qui le distingue des solutions traditionnelles.

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Plaque de revêtement TAC

Conçue avec précision et conçue à la perfection, la plaque de revêtement TAC de Vetek Semiconductor est spécifiquement adaptée à diverses applications dans les processus de croissance monocusstal (SIC) en silicium. Ses performances fiables et son revêtement de haute qualité contribuent à des résultats cohérents et uniformes dans les applications de croissance des cristaux SIC. Nous nous engageons à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs et nous sommes impatients d'être votre partenaire à long terme en Chine.

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CVD TAC COUVERTURE

Le couvercle de revêtement TAC CVD fourni par Vetek Semiconductor est un composant hautement spécialisé conçu spécifiquement pour les applications exigeantes. Avec ses fonctionnalités avancées et ses performances exceptionnelles, notre couverture de revêtement CVD TAC offre plusieurs avantages clés. Notre couverture de revêtement TAC CVD offre la protection et les performances nécessaires nécessaires pour réussir. Nous attendons avec impatience d'explorer une coopération potentielle avec vous!

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TAC revêtement de suscepteur planétaire

Le suscepteur planétaire du revêtement TAC est un produit exceptionnel pour l'équipement Aixtron Epitaxy. Le revêtement TAC de Vetek Semiconductor offre une excellente résistance à haute température et une inertie chimique. Cette combinaison unique garantit des performances fiables et une longue durée de vie, même dans des environnements exigeants. Vetek s'engage à fournir des produits de haute qualité et à servir de partenaire à long terme sur le marché chinois avec des prix compétitifs.

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Assiette de support de piédestal de revêtement TAC

Le revêtement TAC peut résister à une température élevée de 2200 ℃. Vetek Semiconductor fournit un revêtement TAC de haute pureté avec des impuretés inférieures à 5 ppm en Chine. La plaque de support de piédestal de revêtement TAC est capable de résister à l'hydrogène de l'ammoniac, l'argonine dans la chambre de réaction de dispositif épitaxial. Il améliore la durée de vie du produit. Vous fournissez les exigences, nous fournissons une personnalisation.

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Chuck de revêtement tac

Le mandrin de revêtement TAC de Vetek Semiconductor présente un revêtement de haute qualité de la surface, connu pour sa résistance exceptionnelle à haute température et son inertie chimique, en particulier dans les processus d'épitaxy en carbure de silicium (SIC) (EPI). Avec ses caractéristiques exceptionnelles et ses performances supérieures, notre Chuck de revêtement TAC offre plusieurs avantages clés. Nous nous engageons à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs et nous nous réjouissons d'être votre partenaire à long terme en Chine.

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En tant que fabricant et fournisseur professionnel Revêtement en carbure de tantale en Chine, nous avons notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter avancé et durable Revêtement en carbure de tantale en Chine, vous pouvez nous laisser un message.

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