Anneau de guidage de revêtement TAC

VeTek Semiconductor est un fabricant et fournisseur professionnel d'anneaux de guidage de revêtement TaC en Chine, de creuset de revêtement TaC, de porte-graines.

Le creuset à revêtement TaC, le porte-graines et l'anneau de guidage à revêtement TaC dans des fours monocristallins SiC et AIN ont été cultivés par la méthode PVT.

Lorsque la méthode de transport de vapeur physique (PVT) est utilisée pour préparer le SIC, le cristal de graines est dans la région de température relativement basse et la matière première SIC est dans la région de température relativement élevée (supérieure à 2400 ℃). La décomposition des matières premières produit Sixcy (incluant principalement Si, Sic₂, Si₂c, etc.). Le matériau de phase de vapeur est transporté de la région à haute température vers le cristal de graines dans la région à basse température, et nucléés et se développe. Pour former un seul cristal. Les matériaux de champ thermique utilisés dans ce processus, tels que le creuset, le cycle de guidage d'écoulement, le porte-cristal de graines, devraient être résistants à une température élevée et ne pollueront pas les matières premières SIC et les monocristaux SIC. De même, les éléments de chauffage de la croissance des monocristaux ALN doivent être résistants à la vapeur d'Al, à la corrosion N₂, et doivent avoir une température eutectique élevée (et l'ALN) pour raccourcir la période de préparation des cristaux.

Il a été constaté que le SiC et l'AlN préparés par les matériaux de champ thermique en graphite recouvert de TaC étaient plus propres, presque sans carbone (oxygène, azote) et autres impuretés, moins de défauts de bord, une résistivité plus faible dans chaque région, et la densité des micropores et la densité des fosses de gravure étaient considérablement réduite (après gravure KOH) et la qualité des cristaux a été grandement améliorée. De plus, le taux de perte de poids du creuset TaC est presque nul, son apparence est non destructive, peut être recyclé (durée de vie jusqu'à 200 heures), peut améliorer la durabilité et l'efficacité d'une telle préparation monocristalline.

Paramètre de produit de l'anneau de guidage de revêtement TaC :

Magasins de production:

Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices :