Tantalum Carbure enduit

La bague revêtue de carbure de carbure de Tantalum Vetek semi-conducteur est fabriquée à partir degraphiteet recouvert de carbure de tantale, une combinaison qui tire parti des meilleures propriétés des deux matériaux pour assurer des performances et une longévité supérieures. 

Le revêtement TAC sur le cycle de revêtement de carbure de tantale garantit qu'il reste chimiquement inerte dans les atmosphères réactives des fours de croissance cristalline SIC, qui impliquent souvent des gaz tels que l'hydrogène, l'argon et l'azote. Cette inertie chimique est vitale pour empêcher toute contamination du cristal croissant, ce qui pourrait entraîner des défauts et une réduction des performances des produits semi-conducteurs finaux. De plus, la stabilité thermique fournie par le revêtement TAC permet à l'anneau de revêtement de carbure de tantale de fonctionner efficacement à des températures élevées requises pour la croissance des cristaux SIC, dépassant généralement 2000 ° C.

Le revêtement TAC dense et uniforme peut être préparé sur la surface du graphite par pulvérisation plasmatique, méthode de MCV et méthode de frittage de suspension, mais la méthode de pulvérisation du plasma a des besoins élevés d'équipement et la formation de TA2C. Il est difficile de préparer le revêtement composite par la méthode de frittage de suspension, et la résistance aux chocs thermiques du revêtement est médiocre. Le revêtement préparé par la méthode CVD a une composition contrôlable et une densité la plus élevée, qui est actuellement une méthode de revêtement en carbure de tantale commun.

Les propriétés mécaniques du TAC réduisent considérablement l'usure sur l'anneau de revêtement en carbure de tantale. Ceci est crucial en raison de la nature répétitive du processus de croissance des cristaux, qui expose l'anneau de guidage aux cycles thermiques fréquents et aux contraintes mécaniques. La résistance à la dureté et à l'usure de TAC assurez-vous que l'anneau enduit TAC maintient son intégrité structurelle et ses dimensions précises sur de longues périodes, minimisant le besoin de remplacements fréquents et réduisant les temps d'arrêt dans le processus de fabrication. 

La densité en vrac du revêtement de carbure de tantale est de 14,3 gm / cm3, l'émissivité 0,3, la dureté est de 2000 Hk, le point de fusion est de 3950s ℃ et de bonnes propriétés physiques ont été sélectionnées comme matériau commun pour la troisième génération de semi-conducteurs.

De plus, la combinaison de graphite et de TAC dans le cycle de revêtement en carbure de tantale optimise la gestion thermique dans le four à croissance cristalline. La conductivité thermique élevée du graphite distribue efficacement la chaleur, empêchant les points chauds et favorisant la croissance des cristaux uniformes. Pendant ce temps, le revêtement TAC sert de barrière thermique, protégeant le noyau du graphite contre l'exposition directe à des températures élevées et à des gaz réactifs. Cette synergie entre le noyau et les matériaux de revêtement se traduit par un anneau de guidage qui non seulement résiste aux conditions difficiles deCroissance des cristaux SICmais améliore également l'efficacité globale et la qualité du processus.

Voirk semi-conducteur en tantalum en carbure revêtu de carbure est un élément essentiel de l'industrie des semi-conducteurs, spécialement conçu pour la croissance deCristaux en carbure de silicium. Son design exploite les forces du graphite et du carbure de tantale pour offrir des performances exceptionnelles dans des environnements à haute température et stress élevés. Le revêtement TAC assure une inertie chimique, une durabilité mécanique et une stabilité thermique, qui sont toutes essentielles pour produire des cristaux SIC de haute qualité. En maintenant son intégrité et sa fonctionnalité dans des conditions extrêmes, l'anneau soutient la croissance efficace et sans défaut des cristaux SIC, contribuant à l'avancement des dispositifs semi-conducteurs haute puissance et haute fréquence.

Vetek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et fournisseurs deRevêtement en carbure de tantale, Revêtement en carbure de siliciumetGraphite spécialen Chine. Nous nous sommes longtemps déterminés à fournir des technologies de pointe et des solutions de produits à l'industrie des semi-conducteurs, et espérons sincèrement être votre partenaire à long terme en Chine.

Revêtement en carbure de tantale (TAC)sur une coupe microscopique：

Aperçu duchaîne de l'industrie de l'épitaxie des puces semi-conductrices：