Anneau enduit de tac

La bague revêtue de Veteksemi TAC est un composant haute performance adapté aux processus de fabrication de semi-conducteurs. Son revêtement en carbure de tantale conçu unique (TAC) donne au produit une excellente résistance à haute température, une résistance à la corrosion et une stabilité mécanique, améliorant considérablement la durée de vie et la fiabilité des composants du graphite dans l'équipement semi-conducteur.

Performance supérieure des revêtements en carbure de tantale:

● Résistance à la température ultra-élevée: les revêtements TAC peuvent facilement résister à des températures extrêmes allant jusqu'à 2200 ° C et rester stables dans des environnements de choc thermique communs dans la fabrication de semi-conducteurs.

● Excellente stabilité chimique: le revêtement montre une forte résistance aux gaz corrosifs courants tels que l'hydrogène, l'ammoniac, le silane et le silicium, protégeant efficacement le substrat de l'attaque chimique.

● Excellentes propriétés mécaniques: le revêtement TAC a une dureté élevée, une forte résistance à l'usure et une bonne résistance aux chocs thermiques, et peut fonctionner de manière stable pendant longtemps dans des conditions de travail sévères.

● Excellente adhérence: le revêtement est étroitement lié au substrat de graphite, empêchant efficacement le revêtement de se décoller et d'assurer des performances cohérentes tout au long de la durée de vie du produit.

● Haute pureté: le revêtement TAC préparé par CVD a une pureté extrêmement élevée, ce qui minimise l'introduction des impuretés et fournit un environnement de processus propre pour la fabrication de semi-conducteurs.

Avantages des anneaux revêtus de carbure de tantale:

● Vie à l'équipement prolongé: Le revêtement TAC bloque efficacement les réactions chimiques et la diffusion des impuretés, prolongeant considérablement la durée de vie des composants du graphite et réduisant les coûts de maintenance.

● Améliorer l'efficacité de la production: La résistance à haute température et la résistance à la corrosion du produit lui permettent de fonctionner dans des conditions plus exigeantes, de raccourcissement du cycle de production et d'augmenter la capacité de production.

● Amélioration de la qualité du produit: Le revêtement TAC de haute pureté permet de réduire la contamination, d'assurer la qualité et la cohérence des produits semi-conducteurs.

Vetek Semiconductor a été spécialisé dans les produits de revêtement TAC tels queChuck de revêtement tac, Plaque de rotation de revêtement TAC, Sous-marin de revêtement TAC, TAC en revêtement de la plaquettependant de nombreuses années. Nos produits de bague enduits de TAC ont les fonctions d'une durée de vie de l'équipement prolongé, d'une amélioration de l'efficacité de la production et d'une meilleure qualité de produit. Dans le même temps, Vetek Semiconductor s'engage depuis longtemps à fournir des technologies de pointe et des solutions de produits à l'industrie des semi-conducteurs. 

En raison des différentes propriétés chimiques des matériaux de graphite et de carbure de tantale, le coefficient d'expansion thermique ne correspondra pas, et il est facile d'être chauffé à haute température par le semi-conducteur de Vetek à travers un processus spécifique pour promouvoir la formation du revêtement de carbure de tantalum partiellement déposé à la surface de la matrice, et en partie pénétré dans la matrice graphique. De cette façon, le revêtement en carbure de tantale est étroitement imbriqué dans la matrice de graphite par croissance in situ, ce qui augmente considérablement la force de liaison entre le revêtement et la matrice et empêche efficacement le pelage du revêtement de carbure de tantale. Nous espérons sincèrement devenir votre partenaire à long terme en Chine.

Boutiques d'anneaux enduits de carbure de carbure: