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Bague de guidage enduit de tac
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Bague de guidage enduit de tac

Le cycle de guidage revêtu de TAC est en graphite de haute qualité et en revêtement TAC. Dans la préparation des cristaux SIC par la méthode PVT, le cycle de guidage revêtu de Vetek Semiconductor est principalement utilisé pour guider et contrôler le flux d'air, optimiser le processus de croissance monocristalliers et améliorer le rendement en monocristal. Avec une excellente technologie de revêtement TAC, nos produits ont une excellente résistance à la température, une résistance à la corrosion et de bonnes propriétés mécaniques.


Le cycle de guidage enduit de TAC de haute qualité est proposé par le fabricant de Chine Vetek Semiconductor. Achetez un anneau de guide enduit TAC qui est de haute qualité directement à bas prix.


En plus duRevêtement TAC CVD, nous avons également collaboré avec une entreprise japonaise pour développer des revêtements de pulvérisation à base d'eau, et la technologie de revêtement TAC de cette méthode a démontré d'excellentes performances, y compris une résistance à la température supérieure à 2500 ° C et une résistance aux gaz corrosifs. L'épaisseur du revêtement peut être ajustée de manière variable dans la plage de 20 µm à 200 µm, assurant une protection efficace pendant les processus longs et les cycles élevés. Flexibilité exceptionnelle dans la manipulation des composants revêtus de différentes tailles et géométriques. Contrairement aux TAC de dépôt CVD, cette méthode soutient la rénovation des revêtements et composants partiels tout en restant respectueux de l'environnement. En raison de la verrouillage avec le graphite poreux sous-jacent, nos revêtements TAC ont une excellente stabilité mécanique, vérifiée par des tests de grattages. Le revêtement ne provoque pas de contamination et la tranche de sic traitée est exempte de contamination de surface.


Performances et caractéristiques de l'anneau de guide revêtu de VetekSeMICON TAC:

● Résistance à haute température, haute densité et compacité élevée; Excellente résistance à la corrosion.

● Haute pureté avec un contenu d'impureté <5 ppm.

● Chimiquement inerte à l'ammoniac et à l'hydrogène gazeux à des températures élevées; Excellente stabilité thermique.


Performances et caractéristiques de l'anneau de guide revêtu de VetekSeMICON TAC:

● Croissance cristalline.

● Réacteurs épitaxiaux en carbure de silicium.

● Pares de turbine à gaz.

● buses à haute température et résistantes à l'oxydation.


Description du produit:

Revêtement TACest un matériau à haute température de nouvelle génération qui présente une stabilité thermique supérieure par rapport au SIC. Il sert de revêtement résistant à la corrosion, résistant à l'oxydation et résistant à l'usure, capable d'environnements résistant au-dessus de 2000 ° C. Largement utilisé dans l'aérospatiale pour les composants à ultra-température, ainsi que dans la croissance monocristalline semi-conductrice de troisième génération et d'autres champs.


SiC CRYSTAL GROWTH FURNACE


Méthode Pvt Croissance des cristaux sic

PVT method SiC Crystal Growth


Paramètre de produit de l'anneau de guidage enduit TAC

Propriétés physiques du revêtement en carbure de tantale
Densité 14.3 (g / cm³)
Émissivité spécifique 0.3
Coefficient de dilatation thermique 6.3 10-6/ K
Dureté (HK) 2000 HK
Résistance 1 × 10-5Ohm * cm
Stabilité thermique <2500 ℃
Modifications de la taille du graphite -10 ~ -20UM
Épaisseur de revêtement Valeur typique ≥20UM (35UM ± 10UM)


Comparez l'atelier de production de semi-conducteurs:

VeTek Semiconductor Production Shop


Aperçu de la chaîne de l'industrie de l'épitaxie des puces semi-conductrices:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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