Support de plaquette de graphite enduit de TaC

Vous pouvez être assuré d'acheter un support de plaquette en graphite revêtu de TaC personnalisé auprès de VeTek Semiconductor. Nous sommes impatients de coopérer avec vous, si vous souhaitez en savoir plus, vous pouvez nous consulter dès maintenant, nous vous répondrons à temps !

Le support de tranches en graphite à revêtement TaC VeTek Semiconductor interagit directement avec les tranches du réacteur d'épitaxie, améliorant ainsi l'efficacité et les performances. Avec l'option de revêtement en carbure de silicium ou en carbure de tantale, le support de plaquette en graphite à revêtement TaC VeTek Semiconductor offre une durée de vie prolongée, jusqu'à 2 à 3 fois plus longue avec le carbure de tantale. Compatible avec différents modèles de machines, notamment les fours d'épitaxie LPE SiC, les fours d'épitaxie JSG, NASO.

Voirk Semiconductor TAC enduit de graphite porteuse assure une stoechiométrie de réaction précise, empêche la migration des impuretés et maintient la stabilité de la température au-delà de 2000 ° C. Il présente une résistance remarquable à H2, NH3, SIH4 et SI, sauvegardant contre des environnements chimiques difficiles. Les chocs thermiques résumant, il permet des cycles opérationnels rapides sans délaminage de revêtement.

Le revêtement VeTek Semiconductor TaC garantit une ultra-haute pureté, élimine les impuretés et garantit une couverture conforme répondant à des tolérances dimensionnelles strictes. Grâce aux capacités avancées de traitement du graphite de VeTek Semiconductor, nous sommes équipés pour répondre à vos besoins de personnalisation. Que vous ayez besoin de services de revêtement ou de solutions complètes, notre équipe d'ingénieurs experts est prête à concevoir la solution parfaite pour vos applications spécifiques. Faites-nous confiance pour vous livrer des produits de haute qualité adaptés à vos exigences et attentes.

Méthode PVT Croissance des cristaux SiC :

Paramètre de produit du support de plaquette de graphite enduit de TaC

Comparez l'atelier de production de semi-conducteurs:

Aperçu de la chaîne de l'industrie de l'épitaxie des puces semi-conductrices: