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Revêtement en carbure de tantale

VeTek semiconductor est l'un des principaux fabricants de matériaux de revêtement en carbure de tantale pour l'industrie des semi-conducteurs. Nos principales offres de produits comprennent des pièces de revêtement en carbure de tantale CVD, des pièces de revêtement TaC frittées pour la croissance cristalline de SiC ou le processus d'épitaxie de semi-conducteurs. Ayant passé la norme ISO9001, VeTek Semiconductor a un bon contrôle de la qualité. VeTek Semiconductor s'engage à devenir un innovateur dans l'industrie des revêtements en carbure de tantale grâce à la recherche et au développement continus de technologies itératives.


Les principaux produits sontAnneau de guidage revêtu de TaC, Anneau de guidage à trois pétales avec revêtement CVD TaC, Demi-lune revêtue de carbure de tantale TaC, Suscepteur épitaxial planétaire SiC à revêtement CVD TaC, Anneau de revêtement en carbure de tantale, Graphite poreux recouvert de carbure de tantale, Suscepteur de rotation du revêtement TaC, Bague en carbure de tantale, Plaque de rotation de revêtement TaC, Suscepteur de plaquette revêtue de TaC, Anneau déflecteur avec revêtement TaC, Couverture de revêtement CVD TaC, Mandrin à revêtement TaCetc., la pureté est inférieure à 5 ppm, peut répondre aux exigences des clients.


Le graphite de revêtement TaC est créé en recouvrant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). L'avantage est illustré dans l'image ci-dessous :


Excellent properties of TaC coating graphite


Le revêtement en carbure de tantale (TaC) a attiré l'attention en raison de son point de fusion élevé allant jusqu'à 3 880 °C, de son excellente résistance mécanique, de sa dureté et de sa résistance aux chocs thermiques, ce qui en fait une alternative intéressante aux processus d'épitaxie de semi-conducteurs composés avec des exigences de température plus élevées. tels que le système Aixtron MOCVD et le processus d'épitaxie LPE SiC. Il a également une large application dans le processus de croissance cristalline SiC de la méthode PVT.


Principales fonctionnalités:

 ●Stabilité de la température

 ●Ultra haute pureté

 ●Résistance à H2, NH3, SiH4,Si

 ●Résistance au stock thermique

 ●Forte adhérence au graphite

 ●Couverture du revêtement conforme

 ● Taille jusqu'à 750 mm de diamètre (le seul fabricant en Chine atteint cette taille)


Applications:

 ●Support de plaquette

 ● Suscepteur de chauffage inductif

 ● Élément chauffant résistif

 ●Disque satellite

 ●Pommeau de douche

 ●Bague de guidage

 ●Récepteur LED Epi

 ●Buse d'injection

 ●Anneau de masquage

 ● Bouclier thermique


Revêtement en carbure de tantale (TaC) sur une section microscopique:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Paramètre du revêtement en carbure de tantale VeTek Semiconductor:

Propriétés physiques du revêtement TaC
Densité 14,3 (g/cm³)
Émissivité spécifique 0.3
Coefficient de dilatation thermique 6.3 10-6/K
Dureté (HK) 2000 Hong Kong
Résistance 1×10-5Ohm*cm
Stabilité thermique <2500℃
Modifications de la taille du graphite -10~-20um
Épaisseur du revêtement Valeur typique ≥20um (35um±10um)


Données EDX du revêtement TaC：

EDX data of TaC coating


Données sur la structure cristalline du revêtement TaC:

Élément Pourcentage atomique
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Moyenne
CK 52.10 57.41 52.37 53.96
Eux 47.90 42.59 47.63 46.04


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TAC en revêtement à trois pétenles

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Vetek Semiconductor est un fabricant et innovateur de ring à trois petal enrobés de TAC en Chine. Nous sommes spécialisés dans le revêtement TAC et SIC depuis de nombreuses années. Nos produits ont une résistance à la corrosion, une forte résistance. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
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Tantalum Carbure revêtu de Chuck

Tantalum Carbure revêtu de Chuck

Vetek Semiconductor est un fabricant et innovateur de Chuck enrobé de carbure de Tantalum de premier plan en Chine. Nous sommes spécialisés dans le revêtement TAC depuis de nombreuses années. Nos produits ont une pureté élevée et une résistance à haute température jusqu'à 2000 ℃. Nous attendons avec impatience de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
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Tantalum Carbure revêtu de carbure

Tantalum Carbure revêtu de carbure

Vetek Semiconductor est un fabricant de couvertures et innovateurs enduit de carbure de tantale en Chine. Nous sommes spécialisés dans le revêtement TAC et SIC depuis de nombreuses années. Nos produits ont une résistance à la corrosion, une forte résistance. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
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Halfmoon inférieur de graphite ultra pur

Halfmoon inférieur de graphite ultra pur

Vetek Semiconductor est l'un des principaux fournisseurs de HalfMoon inférieur de graphite ultra pur personnalisé en Chine, spécialisé dans les matériaux avancés pendant de nombreuses années. Notre HalfMoon inférieur de Graphite Ultra Pure est spécialement conçu pour l'équipement épitaxial SIC, garantissant d'excellentes performances. Fabriqué à partir de graphite importé ultra-pure, il offre une fiabilité et une durabilité. Visitez notre usine en Chine pour explorer notre halfon de haute qualité de haute qualité.
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HalfMoon partie supérieure en revêtement sic

HalfMoon partie supérieure en revêtement sic

Vetek Semiconductor est l'un des principaux fournisseurs de SIC Half HalfMoon de la Chine, spécialisés dans les matériaux avancés depuis plus de 20 ans. Vetek Semiconductor HalfMoon Part SIC Le revêtement est spécialement conçu pour l'équipement épitaxial SIC, servant de composant crucial dans la chambre de réaction. Fabriqué à partir de graphite ultra-pure et semi-conducteur, il garantit d'excellentes performances. Nous vous invitons à visiter notre usine en Chine.
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Carbure de carbure en silicium porte-plaquette

Carbure de carbure en silicium porte-plaquette

Vetek Semiconductor est l'un des principaux fournisseurs de porte-aigues en carbure de silicium personnalisés en Chine. Nous avons été spécialisés dans les matériaux avancés plus de 20 ans. Nous proposons une porteuse d'épitaxy en carbure de silicium pour transporter un substrat SIC, une couche d'épitaxy sic croissante dans un réacteur épitaxien SIC. Cette porteuse à la plaquette d'épitaxie en carbure de silicium est une partie importante enrobée SIC de la partie demi-lune, une résistance à haute température, une résistance à l'oxydation, une résistance à l'usure. Nous vous invitons à visiter notre usine en Chine.
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En tant que fabricant et fournisseur professionnel Revêtement en carbure de tantale en Chine, nous avons notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter avancé et durable Revêtement en carbure de tantale en Chine, vous pouvez nous laisser un message.
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