Suscepteur MOCVD avec revêtement TaC

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L'épitaxie LED fait face à des défis tels que le contrôle de la qualité des cristaux, la sélection et la correspondance des matériaux, la conception et l'optimisation structurelles, le contrôle et la cohérence des processus et l'efficacité d'extraction de la lumière. Le choix du bon matériau de porteuse à la plaquette épitaxie est crucial, et l'enrober avec un film mince de carbure de tantale (TAC) (revêtement TAC) offre des avantages supplémentaires.

Lors de la sélection d'un matériau porte-porte-gigue épitaxy, plusieurs facteurs clés doivent être pris en compte:

● Tolérance de température et stabilité chimique: Les procédés d'épitaxie LED impliquent des températures élevées et peuvent impliquer l'utilisation de produits chimiques. Par conséquent, il est nécessaire de choisir des matériaux ayant une bonne tolérance à la température et une bonne stabilité chimique pour garantir la stabilité du support dans des environnements chimiques et à haute température.

● Planéité de la surface et résistance à l'usure: La surface du support de plaquette d'épitaxie doit avoir une bonne planéité pour assurer un contact uniforme et une croissance stable de la plaquette d'épitaxie. De plus, la résistance à l’usure est importante pour éviter les dommages de surface et l’abrasion.

● Conductivité thermique: Choisir un matériau avec une bonne conductivité thermique aide à dissiper efficacement la chaleur, en maintenant une température de croissance stable pour la couche épitaxie et en améliorant la stabilité et la cohérence du processus.

À cet égard, le revêtement du porte-gigue Epitaxy avec TAC offre les avantages suivants:

● Stabilité à haute température: Le revêtement TAC présente une excellente stabilité à haute température, ce qui lui permet de maintenir sa structure et ses performances pendant les processus d'épitaxie à haute température et à fournir une tolérance à la température supérieure.

● Stabilité chimique: Le revêtement TaC résiste à la corrosion causée par les produits chimiques et les atmosphères courants, protégeant le support de la dégradation chimique et améliorant sa durabilité.

● résistance à la dureté et à l'usure: Le revêtement TAC possède une forte résistance à la dureté et à l'usure, en renforçant la surface du porte-gigue épitaxie, en réduisant les dommages et l'usure et prolongeant sa durée de vie.

● Conductivité thermique: Le revêtement TAC montre une bonne conductivité thermique, aidant à la dissipation de la chaleur, en maintenant une température de croissance stable pour la couche épitaxie et en améliorant la stabilité et la cohérence du processus.

Par conséquent, le choix d’un support de plaquette d’épitaxie avec un revêtement TaC permet de relever les défis de l’épitaxie LED, en répondant aux exigences des environnements chimiques et à haute température. Ce revêtement offre des avantages tels que la stabilité à haute température, la stabilité chimique, la dureté et la résistance à l'usure, ainsi que la conductivité thermique, contribuant à améliorer les performances, la durée de vie et l'efficacité de production du support de tranche d'épitaxie.