Revêtement en carbure de tantale

VeTek semiconductor est l'un des principaux fabricants de matériaux de revêtement en carbure de tantale pour l'industrie des semi-conducteurs. Nos principales offres de produits comprennent des pièces de revêtement en carbure de tantale CVD, des pièces de revêtement TaC frittées pour la croissance cristalline de SiC ou le processus d'épitaxie de semi-conducteurs. Ayant passé la norme ISO9001, VeTek Semiconductor a un bon contrôle de la qualité. VeTek Semiconductor s'engage à devenir un innovateur dans l'industrie des revêtements en carbure de tantale grâce à la recherche et au développement continus de technologies itératives.

Les principaux produits sontAnneau de guidage revêtu de TaC, Anneau de guidage à trois pétales avec revêtement CVD TaC, Demi-lune revêtue de carbure de tantale TaC, Suscepteur épitaxial planétaire SiC à revêtement CVD TaC, Anneau de revêtement en carbure de tantale, Graphite poreux recouvert de carbure de tantale, Suscepteur de rotation du revêtement TaC, Bague en carbure de tantale, Plaque de rotation de revêtement TaC, Suscepteur de plaquette revêtue de TaC, Anneau déflecteur avec revêtement TaC, Couverture de revêtement CVD TaC, Mandrin à revêtement TaCetc., la pureté est inférieure à 5 ppm, peut répondre aux exigences des clients.

Le graphite de revêtement TaC est créé en recouvrant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). L'avantage est illustré dans l'image ci-dessous :

Excellent properties of TaC coating graphite

Le revêtement en carbure de tantale (TaC) a attiré l'attention en raison de son point de fusion élevé allant jusqu'à 3 880 °C, de son excellente résistance mécanique, de sa dureté et de sa résistance aux chocs thermiques, ce qui en fait une alternative intéressante aux processus d'épitaxie de semi-conducteurs composés avec des exigences de température plus élevées. tels que le système Aixtron MOCVD et le processus d'épitaxie LPE SiC. Il a également une large application dans le processus de croissance cristalline SiC de la méthode PVT.

Principales fonctionnalités:

●Stabilité de la température

●Ultra haute pureté

●Résistance à H2, NH3, SiH4,Si

●Résistance au stock thermique

●Forte adhérence au graphite

●Couverture du revêtement conforme

● Taille jusqu'à 750 mm de diamètre (le seul fabricant en Chine atteint cette taille)

Applications:

●Support de plaquette

● Suscepteur de chauffage inductif

● Élément chauffant résistif

●Disque satellite

●Pommeau de douche

●Bague de guidage

●Récepteur LED Epi

●Buse d'injection

●Anneau de masquage

● Bouclier thermique

Revêtement en carbure de tantale (TaC) sur une section microscopique:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Paramètre du revêtement en carbure de tantale VeTek Semiconductor:

Propriétés physiques du revêtement TaC
Densité	14,3 (g/cm³)
Émissivité spécifique	0.3
Coefficient de dilatation thermique	6.3 10^-6/K
Dureté (HK)	2000 Hong Kong
Résistance	1×10^-5Ohm*cm
Stabilité thermique	<2500℃
Modifications de la taille du graphite	-10~-20um
Épaisseur du revêtement	Valeur typique ≥20um (35um±10um)

Données EDX du revêtement TaC：

EDX data of TaC coating

Données sur la structure cristalline du revêtement TaC:

Élément	Pourcentage atomique
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Moyenne
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
Eux	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandrin de revêtement TaC Disque planétaire à revêtement TaC
Plaque enduite de TaC Plaque de rotation de revêtement TaC Récepteur de revêtement TaC Revêtement CVD TaC Anneau de revêtement CVD TaC Plaque de revêtement TaC

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CVD TAC TACAT RING

Dans l'industrie des semi-conducteurs, le cycle de revêtement CVD TAC est un composant très avantageux conçu pour répondre aux exigences exigeantes des processus de croissance des cristallins en carbure de silicium (SIC). Le cycle de revêtement CVD TAC de Vetek Semiconductor fournit une résistance à haute température exceptionnelle et une inertie chimique, ce qui en fait un choix idéal pour les environnements caractérisés par des températures élevées et des conditions corrosives. PLS n'hésitez pas à nous contacter pour plus de questions.

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LPE SiC EPI Demi-lune

LPE SIC EPI Halfmoon est une conception spéciale pour Horizonational Epitaxy Furnace, un produit révolutionnaire conçu pour élever les processus épitaxy du réacteur LPE. Cette solution de pointe possède plusieurs caractéristiques clés qui garantissent des performances et une efficacité supérieures tout au long de vos opérations de fabrication.Vetek Semiconductor est professionnel dans la fabrication du LPE SIC Halfmoon en 6 pouces, 8 pouces. En avant pour mettre en place une coopération à long terme avec vous.

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EPI LED

Vetek Semiconductor est l'un des principaux fournisseurs de revêtements TAC et de pièces de graphite de revêtement SIC. Nous nous spécialisons dans la production de suscepteurs EPI LED de pointe, essentiels aux processus d'épitaxie LED. Dans l'attente de votre nouvelle consultation.

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Suscepteur MOCVD avec revêtement TaC

Vetek Semiconductor est un fournisseur complet impliqué dans la recherche, le développement, la production, la conception et les ventes de revêtements TAC et de pièces de revêtement SIC. Notre expertise réside dans la production de suscepteur MOCVD de pointe avec un revêtement TAC, qui joue un rôle vital dans le processus d'épitaxie LED. Nous vous invitons à discuter avec les demandes américaines et les informations supplémentaires.

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TAC en revêtement en UV profondément suscepteur

Le revêtement TAC est un revêtement de nouvelle génération en développement pour un environnement dur. Vetek Semiconductor est un fournisseur intégré engagé dans la recherche et le développement, la production, la conception et les ventes de revêtements TAC. Nous nous spécialisons dans la fabrication de suscepteurs LED UV enduits de TAC de coupe de bord, qui sont des composants cruciaux dans le processus d'épitaxy LED. Notre suscepteur LED UV profond enduit de TAC offre une conductivité thermique élevée, une forte résistance mécanique, une efficacité de production améliorée et une protection de la plaquette épitaxiale. Bienvenue pour nous enquêter.

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Demi-lune revêtue de carbure de tantale TaC

Les pièces en demi-lune recouvertes d'un revêtement CVD TaC sont plus durables que les pièces en demi-lune revêtues de SiC.VeTek Semiconductor est le principal fabricant et fournisseur en Chine de demi-lune revêtue de carbure de tantale TaC, nous nous sommes spécialisés dans la R&D et la production, pouvons bien contrôler la qualité et offrir un prix compétitif. prix. Vous êtes invités à visiter notre usine pour une discussion plus approfondie sur une coopération à long terme.

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En tant que fabricant et fournisseur professionnel Revêtement en carbure de tantale en Chine, nous avons notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter avancé et durable Revêtement en carbure de tantale en Chine, vous pouvez nous laisser un message.

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