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EPI LED
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EPI LED

Vetek Semiconductor est l'un des principaux fournisseurs de revêtements TAC et de pièces de graphite de revêtement SIC. Nous nous spécialisons dans la production de suscepteurs EPI LED de pointe, essentiels aux processus d'épitaxie LED. Dans l'attente de votre nouvelle consultation.

En tant que fournisseur et fabricant de suscepteur de l'EPI LED professionnel, Vetek Semiconductor aimerait vous fournir un suscepteur EPI LED de haute qualité.


Suscepteur EPI LED de VetekSeMICON, un produit de pointe conçu pour les processus de croissance de l'épitaxie LED. Ce suscepteur de haute qualité sert de porteur de plaquette pour l'épitaxie LED, fournissant un soutien essentiel et maintenant la croissance des plaquettes épitaxiales LED.


Le suscepteur EPI LED a une excellente conductivité thermique élevée et une résistance à la température élevée. Habituellement, le suscepteur doit fonctionner dans un environnement à haute température (supérieur à 1000 ° C), et son matériau est en graphite ou en carbure de silicium. Ces matériaux ont des points de fusion élevés (tels que le point de fusion du graphite d'environ 3650 ° C) et une excellente conductivité thermique (comme la conductivité thermique en carbure de silicium d'environ 120 W / m · k), ce qui assure un transfert de chaleur efficace.


De plus, la surface du suscepteur Veteksemicon est très plate, ce qui assure un contact étroit avec le substrat. En même temps, legraphiteouMatériaux en carbure de siliciumont également une inertie chimique significative, en évitant les réactions secondaires avec des gaz réactifs (comme le NH₃, le TMGA, etc.) et la prévention de la contamination de la couche épitaxiale.


Le suscepteur EPI LED intègre une excellente conductivité thermique, dissipant efficacement la chaleur pour maintenir une température de croissance stable pour les plaquettes épitaxiales. Cette caractéristique cruciale améliore la stabilité et la cohérence des processus, garantissant une croissance LED cohérente et de haute qualité. Pour améliorer davantage ses performances, le suscepteur EPI LED est recouvert d'un film mince de carbure de tantale (TAC) haut de gamme. LeRevêtement TACAméliore considérablement la durabilité et la fiabilité du produit, assurant des performances durables et optimales.


Le suscepteur EPI LED de VetekSeMICon possède une compatibilité transparente avec divers équipements et processus d'épitaxie LED, ce qui en fait une solution polyvalente pour diverses exigences de croissance épitaxiale de la plaquette. Dans le même temps, VetekSemicon s'engage à fournir des technologies de pointe et des solutions de produits pour la technologie de traitement épitaxial semi-conducteur. Nous attendons sincèrement que vous vous joignez à nous.


Propriétés physiques de base du revêtement TAC:

Propriétés physiques du revêtement en carbure de tantale
Densité 14.3 (g / cm³)
Émissivité spécifique 0.3
Coefficient de dilatation thermique 6.3 * 10-6/ K
Dureté (HK) 2000 HK
Résistance 1 × 10-5Ohm * cm
Stabilité thermique <2500 ℃
Modifications de la taille du graphite -10 ~ -20UM
épaisseur Valeur typique ≥20UM (35UM ± 10UM)


Semi-conducteur

VeTek Semiconductor LED EPI Susceptor Production Shop

Aperçu de la chaîne de l'industrie de l'épitaxie des puces semi-conductrices:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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