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Revêtement en carbure de tantale

VeTek semiconductor est l'un des principaux fabricants de matériaux de revêtement en carbure de tantale pour l'industrie des semi-conducteurs. Nos principales offres de produits comprennent des pièces de revêtement en carbure de tantale CVD, des pièces de revêtement TaC frittées pour la croissance cristalline de SiC ou le processus d'épitaxie de semi-conducteurs. Ayant passé la norme ISO9001, VeTek Semiconductor a un bon contrôle de la qualité. VeTek Semiconductor s'engage à devenir un innovateur dans l'industrie des revêtements en carbure de tantale grâce à la recherche et au développement continus de technologies itératives.


Les principaux produits sontAnneau de guidage revêtu de TaC, Anneau de guidage à trois pétales avec revêtement CVD TaC, Demi-lune revêtue de carbure de tantale TaC, Suscepteur épitaxial planétaire SiC à revêtement CVD TaC, Anneau de revêtement en carbure de tantale, Graphite poreux recouvert de carbure de tantale, Suscepteur de rotation du revêtement TaC, Bague en carbure de tantale, Plaque de rotation de revêtement TaC, Suscepteur de plaquette revêtue de TaC, Anneau déflecteur avec revêtement TaC, Couverture de revêtement CVD TaC, Mandrin à revêtement TaCetc., la pureté est inférieure à 5 ppm, peut répondre aux exigences des clients.


Le graphite de revêtement TaC est créé en recouvrant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). L'avantage est illustré dans l'image ci-dessous :


Excellent properties of TaC coating graphite


Le revêtement en carbure de tantale (TaC) a attiré l'attention en raison de son point de fusion élevé allant jusqu'à 3 880 °C, de son excellente résistance mécanique, de sa dureté et de sa résistance aux chocs thermiques, ce qui en fait une alternative intéressante aux processus d'épitaxie de semi-conducteurs composés avec des exigences de température plus élevées. tels que le système Aixtron MOCVD et le processus d'épitaxie LPE SiC. Il a également une large application dans le processus de croissance cristalline SiC de la méthode PVT.


Principales fonctionnalités:

 ●Stabilité de la température

 ●Ultra haute pureté

 ●Résistance à H2, NH3, SiH4,Si

 ●Résistance au stock thermique

 ●Forte adhérence au graphite

 ●Couverture du revêtement conforme

 ● Taille jusqu'à 750 mm de diamètre (le seul fabricant en Chine atteint cette taille)


Applications:

 ●Support de plaquette

 ● Suscepteur de chauffage inductif

 ● Élément chauffant résistif

 ●Disque satellite

 ●Pommeau de douche

 ●Bague de guidage

 ●Récepteur LED Epi

 ●Buse d'injection

 ●Anneau de masquage

 ● Bouclier thermique


Revêtement en carbure de tantale (TaC) sur une section microscopique:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Paramètre du revêtement en carbure de tantale VeTek Semiconductor:

Propriétés physiques du revêtement TaC
Densité 14,3 (g/cm³)
Émissivité spécifique 0.3
Coefficient de dilatation thermique 6.3 10-6/K
Dureté (HK) 2000 Hong Kong
Résistance 1×10-5Ohm*cm
Stabilité thermique <2500℃
Modifications de la taille du graphite -10~-20um
Épaisseur du revêtement Valeur typique ≥20um (35um±10um)


Données EDX du revêtement TaC：

EDX data of TaC coating


Données sur la structure cristalline du revêtement TaC:

Élément Pourcentage atomique
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Moyenne
CK 52.10 57.41 52.37 53.96
Eux 47.90 42.59 47.63 46.04


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Graphite poreux avec TAC revêtu

Graphite poreux avec TAC revêtu

Le graphite poreux avec un revêtement TAC est un matériau de traitement avancé de semi-conducteur fourni par Vetek Semiconductor. Le graphite poreux avec revêtement TAC combine les avantages du revêtement de graphite poreux et de carbure de tantale (TAC), avec une bonne conductivité thermique et une bonne perméabilité du gaz. Vetek Semiconductor s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs.
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Couvercle de revêtement en carbure de tantale

Couvercle de revêtement en carbure de tantale

Le couvercle de revêtement en carbure de tantale est composé de graphite de haute pureté et de revêtement TAC. Vetek Semiconductor est l'un des principaux fournisseurs et fabricants de couvertures de revêtement en carbure de tantale en Chine. Nous nous concentrons sur la fourniture de produits en carbure de tantale résistants à haute température à haute température. Notre couverture revêtue de carbure de tantale a d'excellentes performances et fiabilité, et peut protéger efficacement les matériaux dans des environnements à température et à corrosifs extrêmement élevés. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine. Bienvenue pour consulter à tout moment.
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Anneau de déflecteur enduit de tac

Anneau de déflecteur enduit de tac

Le cycle de déflecteur revêtu de Vetek Semiconductor de Vetek est un composant hautement spécialisé conçu pour les processus de croissance des cristaux SIC. Le revêtement TAC offre une excellente résistance à la température élevée et une inertie chimique pour faire face aux températures élevées et aux environnements corrosifs pendant le processus de croissance cristalline. Cela garantit des performances stables et une longue durée de vie du composant, réduisant la fréquence du remplacement et des temps d'arrêt. Nous nous engageons à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs et nous sommes impatients d'être votre partenaire à long terme en Chine.
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Tube revêtu de carbure de tantale pour la croissance des cristaux

Tube revêtu de carbure de tantale pour la croissance des cristaux

Le tube revêtu de carbure de tantale pour la croissance des cristaux est principalement utilisé dans le processus de croissance des cristaux SIC. Vetek Semiconductor fournit un tube revêtu de carbure de tantalum pour la croissance des cristaux depuis de nombreuses années et travaille dans le domaine du revêtement TAC depuis de nombreuses années. Nos produits ont une pureté élevée et une résistance à haute température. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine. N'hésitez pas à nous renseigner.
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Anneau revêtu de TaC pour réacteur épitaxial SiC

Anneau revêtu de TaC pour réacteur épitaxial SiC

VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et innovateurs technologiques d'anneaux à revêtement TaC pour réacteur épitaxial SiC en Chine, se concentrant sur la fourniture de solutions hautes performances pour les réacteurs épitaxiaux SiC. Nous avons de nombreuses années d'expérience dans la technologie de revêtement TaC. L'anneau revêtu de TaC présente les caractéristiques d'une grande pureté, d'une grande stabilité, d'une excellente résistance à la corrosion, etc., et peut fournir des performances stables à long terme dans l'environnement de travail difficile des réacteurs épitaxiaux. Nous sommes impatients d’établir un partenariat stratégique à long terme avec vous.
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Pièce demi-lune recouverte de carbure de tantale pour LPE

Pièce demi-lune recouverte de carbure de tantale pour LPE

VeTek Semiconductor est l'un des principaux fournisseurs de pièces demi-lune revêtues de carbure de tantale pour LPE en Chine, se concentrant sur la technologie de revêtement TaC depuis de nombreuses années. Notre pièce demi-lune revêtue de carbure de tantale pour LPE est conçue pour le processus d'épitaxie en phase liquide et peut résister à des températures élevées de plus de 2000 degrés Celsius. Grâce à d'excellentes performances matérielles et à l'innovation des processus, la durée de vie de nos produits est au premier niveau de l'industrie. VeTek Semiconductor se réjouit d'être votre partenaire à long terme en Chine.
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En tant que fabricant et fournisseur professionnel Revêtement en carbure de tantale en Chine, nous avons notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter avancé et durable Revêtement en carbure de tantale en Chine, vous pouvez nous laisser un message.
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