Quelle est l'application spécifique des pièces revêtues de TAC dans le champ semi-conducteur?

Propriétés physiques du revêtement en carbure de tantale (TAC)

L'application de revêtement en carbure de tantale (TAC) dans le champ semi-conducteur

1. Composants des réacteurs de croissance épitaxiale

Le revêtement TAC est largement utilisé dans les composants des réacteurs de dépôt de vapeur chimique (CVD) du nitrure de gallium (GAN) épitaxial et du carbure de silicium (sic) épitaxial, y comprisporte-avions, Discussions par satellite, buses et capteurs. Ces composants nécessitent une durabilité et une stabilité extrêmement élevées dans des environnements à haute température et corrosifs. Le revêtement TAC peut étendre efficacement leur durée de vie et améliorer le rendement.

2. Composant de croissance monocristallière

Dans le processus de croissance monocristalline de matériaux tels que le SIC, le GAN et le nitrure d'aluminium (AIN),Revêtement TACest appliqué à des composants clés tels que les creusets, les porte-cristaux de graines, les anneaux de guidage et les filtres. Les matériaux de graphite avec revêtement TAC peuvent réduire la migration des impuretés, améliorer la qualité des cristaux et réduire la densité des défauts.

3. Composants industriels à haute température

Le revêtement TAC peut être utilisé dans des applications industrielles à haute température telles que les éléments de chauffage résistives, les buses d'injection, les anneaux de blindage et les luminaires de brasage. Ces composants doivent maintenir de bonnes performances dans des environnements à haute température, et la résistance à la chaleur et la résistance à la corrosion du TAC en font un choix idéal.

4. Ricolateurs dans les systèmes MOCVD

Les radiateurs en graphite enduits de TAC ont été introduits avec succès dans les systèmes de dépôt chimique organique métallique (MOCVD). Par rapport aux radiateurs traditionnels enduits de PBN, les radiateurs TAC peuvent fournir une meilleure efficacité et uniformité, réduire la consommation d'énergie et réduire l'émissivité de surface, améliorant ainsi l'intégrité.

5. porteurs de verseurs

Les porteurs de plaquettes enduits de TAC jouent un rôle important dans la préparation des matériaux semi-conducteurs de troisième génération tels que SIC, AIN et GAN. Des études ont montré que le taux de corrosion deRevêtements de tacdans les environnements d'ammoniac et d'hydrogène à haute température est bien inférieur à celui deRevêtements sic, ce qui le fait montrer une meilleure stabilité et durabilité dans une utilisation à long terme.