Fournace d'oxydation et de diffusion

● Résistance à haute température (jusqu'à 1600 ℃)

● Excellente conductivité thermique et stabilité thermique

● Bonne résistance à la corrosion chimique

● Faible coefficient d'expansion thermique

● Haute résistance et dureté

● Longue durée de vie

Dans les fours d'oxydation et de diffusion, en raison de la présence de gaz à haute température et de gaz corrosifs, de nombreux composants nécessitent l'utilisation de matériaux à haute température et résistants à la corrosion, parmi lesquels le carbure de silicium (sic) est un choix couramment utilisé. Voici les composants de carbure de silicium communs trouvés dans les fours d'oxydation et les fours de diffusion:

● Boat à plaquette

Le bateau à la plaquette en carbure de silicium est un récipient utilisé pour transporter des plaquettes de silicium, qui peuvent résister à des températures élevées et ne réagiront pas avec les tranches de silicium.

● Tube de four

Le tube de la fournaise est le composant central de la fournaise de diffusion, utilisé pour accueillir des tranches de silicium et contrôler l'environnement de réaction. Les tubes de la fournaise en carbure de silicium ont une excellente performance à haute température et à la résistance à la corrosion.

● Plaque de défilé

Utilisé pour réguler le flux d'air et la distribution de la température à l'intérieur du four

● Tube de protection des thermocouples

Utilisé pour protéger la température à mesurer les thermocouples du contact direct avec des gaz corrosifs.

● Pagnière en porte-à-faux

Les pagaies en cantilever en carbure de silicium sont résistantes à la température élevée et à la corrosion, et sont utilisées pour transporter des bateaux en silicium ou des bateaux en quartz transportant des plaquettes de silicium dans les tubes de four à diffusion.

● Injecteur de gaz

Utilisé pour introduire le gaz de réaction dans le four, il doit être résistant à la température élevée et à la corrosion.

● transporteur de bateaux

Le transporteur de bateaux à plate-forme en carbure de silicium est utilisé pour réparer et soutenir les plaquettes de silicium, qui présentent des avantages tels que une résistance élevée, une résistance à la corrosion et une bonne stabilité structurelle.

● Porte de fournaise

Les revêtements ou composants en carbure de silicium peuvent également être utilisés à l'intérieur de la porte du four.

● Élément de chauffage

Les éléments de chauffage en carbure de silicium conviennent à des températures élevées, une puissance élevée et peuvent rapidement augmenter les températures à plus de 1000 ℃.

● Dougleur SIC

Utilisé pour protéger la paroi intérieure des tubes de fournaise, il peut aider à réduire la perte d'énergie thermique et résister aux environnements durs tels que la température élevée et la haute pression.