Four d'oxydation et de diffusion

Les fours d'oxydation et de diffusion sont utilisés dans divers domaines tels que les dispositifs semi-conducteurs, les dispositifs discrets, les dispositifs optoélectroniques, les dispositifs électroniques de puissance, les cellules solaires et la fabrication de circuits intégrés à grande échelle. Ils sont utilisés pour des processus tels que la diffusion, l'oxydation, le recuit, l'alliage et le frittage de tranches.

VeTek Semiconductor est un fabricant leader spécialisé dans la production de composants en graphite, carbure de silicium et quartz de haute pureté dans les fours d'oxydation et de diffusion. Nous nous engageons à fournir des composants de four de haute qualité pour les industries des semi-conducteurs et du photovoltaïque, et sommes à la pointe de la technologie de revêtement de surface, telle que CVD-SiC, CVD-TaC, pyrocarbone, etc.

Les avantages des composants en carbure de silicium VeTek Semiconductor :

Résistance aux hautes températures (jusqu'à 1600 ℃)

Excellente conductivité thermique et stabilité thermique

Bonne résistance à la corrosion chimique

Faible coefficient de dilatation thermique

Haute résistance et dureté

Longue durée de vie

Dans les fours d'oxydation et de diffusion, en raison de la présence de gaz corrosifs et à haute température, de nombreux composants nécessitent l'utilisation de matériaux résistants aux températures élevées et à la corrosion, parmi lesquels le carbure de silicium (SiC) est un choix couramment utilisé. Les composants suivants sont des composants courants en carbure de silicium trouvés dans les fours d’oxydation et les fours à diffusion :

Bateau à plaquettes

Le bateau à plaquettes en carbure de silicium est un conteneur utilisé pour transporter des plaquettes de silicium, qui peut résister à des températures élevées et ne réagira pas avec les plaquettes de silicium.

Tube de four

Le tube du four est le composant central du four à diffusion, utilisé pour accueillir les tranches de silicium et contrôler l'environnement de réaction. Les tubes de four en carbure de silicium ont d'excellentes performances de résistance aux hautes températures et à la corrosion.

Déflecteur

Utilisé pour réguler le débit d’air et la répartition de la température à l’intérieur du four

Tube de protection des thermocouples

Utilisé pour protéger les thermocouples de mesure de température du contact direct avec des gaz corrosifs.

Pagaie en porte-à-faux

Les palettes en porte-à-faux en carbure de silicium résistent aux températures élevées et à la corrosion et sont utilisées pour transporter des bateaux en silicium ou des bateaux en quartz transportant des tranches de silicium dans les tubes du four à diffusion.

Injecteur de gaz

Utilisé pour introduire du gaz de réaction dans le four, il doit résister aux températures élevées et à la corrosion.

Transporteur de bateaux

Le support de bateau de plaquettes en carbure de silicium est utilisé pour fixer et soutenir les plaquettes de silicium, qui présentent des avantages tels qu'une résistance élevée, une résistance à la corrosion et une bonne stabilité structurelle.

Porte de fourneau

Des revêtements ou des composants en carbure de silicium peuvent également être utilisés à l'intérieur de la porte du four.

Élément chauffant

Les éléments chauffants en carbure de silicium conviennent aux températures élevées, à la puissance élevée et peuvent rapidement augmenter la température jusqu'à plus de 1 000 ℃.

Revêtement SiC

Utilisé pour protéger la paroi intérieure des tubes du four, il peut aider à réduire la perte d'énergie thermique et à résister aux environnements difficiles tels que les températures et les pressions élevées.