Pagaies en porte-à-faux sic

Ⅰ.Re vue d'ensemble de l'utilisation du produit

Les pagaies en cantilever SIC sont principalement utilisées dans l'équipement de production de semi-conducteurs comme composants de support et de transmission de la plaquette. Sa fonction centrale est de traiter de manière stable et avec précision les tranches de silicium dans des conditions de processus extrêmes telles que une température élevée et une corrosion élevée, garantissant un processus de production fluide et efficace.

Ⅱ.Avantages et caractéristiques des matériaux SIC

Le SIC est un matériau en céramique avancé dont les excellentes propriétés physiques lui donnent un avantage inégalé dans le champ semi-conducteur. Voici les principaux paramètres physiques liés aux pagaies en porte-à-faux SIC:

● Haute pureté: L'utilisation de matériaux SIC de haute pureté peut minimiser la contamination des processus et améliorer le rendement des produits.

● Excellente résistance à haute température: SIC a un point de fusion jusqu'à 2830 ° C, ce qui lui permet de maintenir l'intégrité structurelle dans des environnements de température extrême tels que la gravure du plasma et le recuit à haute température, et la température de fonctionnement à long terme peut atteindre plus de 1000 ° C.

● Résistance élevée à la dureté et à l'usure: La dureté MOHS est de 9 à 9,5, deuxième seulement après le diamant, donnant aux pagaies en porte-à-faux sic excellentes résistance d'usure et en maintenant la stabilité dimensionnelle pendant la transmission de la plaquette à haute fréquence.

● Excellente conductivité thermique: La conductivité thermique de la céramique SIC est aussi élevée que 120-250 W / (M · K) (valeur typique), qui peut rapidement dissiper la chaleur et éviter une surchauffe locale qui peut endommager la tranche.

● Coefficient d'extension thermique faible: Le coefficient de dilatation thermique faible (environ 4,0 × 10⁻⁶ / k) garantit une stabilité dimensionnelle lorsque la température change, évite la contrainte causée par une expansion et une contraction thermique, et réduit ainsi le risque de dommages à la tranche.

Ⅲ. Scénarios d'application des pagaies en porte-à-faux sic

Les propriétés uniques des pagaies en cantilever SIC leur permettent de jouer un rôle clé dans plusieurs liens de fabrication de semi-conducteurs:

● Équipement de gravure du plasma: Dans la chambre de gravure du plasma, les pagaies en porte-à-faux sic servent de supports de tranche, qui peuvent résister à la bombardement du plasma et à l'érosion corrosive du gaz tout en maintenant la stabilité dimensionnelle, assurant la précision de la gravure et la durée de vie de l'équipement.

● Équipement de dépôt à couches minces (CVD / PVD): Dans le processus de dépôt chimique de vapeur (CVD) et de dépôt physique de vapeur (PVD), des pagaies en porte-à-faux sic sont utilisées pour soutenir les plaquettes. Leur excellente résistance à la température élevée et conductivité thermique aident à chauffer uniformément les plaquettes et à empêcher la contamination des particules générée pendant le processus de dépôt à couches minces.

● Système de transfert de plaquette: Dans le système de transfert automatisé de la plaquette, les pagaies en porte-à-faux sic peuvent résister à un mouvement mécanique à haute fréquence en raison de leur forte résistance à la dureté et à l'usure, assurant un transfert précis et rapide des plaquettes entre différentes chambres de processus, réduisant le risque de dommages causés par la tranche et de contamination.

● Processus de recuit à haute température: Dans la fournaise de recuit à haute température, les pagaies en porte-à-faux sic peuvent résister aux environnements à ultra-haute température, fournir un support stable pour les plaquettes et assurer l'uniformité et l'efficacité du processus de recuit.

VetekSeMICON est bien conscient des exigences strictes des processus semi-conducteurs pour la qualité du produit. Par conséquent, nous prenons en charge les services personnalisés et pouvons fournir une conception et une production de pagaie en porte-à-faux sic personnalisées en fonction de vos équipements et des exigences de processus spécifiques. Et nous contrôlerons également un contrôle de qualité strict pour nous assurer que chaque produit subit des inspections de qualité strictes pour s'assurer qu'elle répond aux normes les plus élevées de l'industrie.

Plus important encore, l'équipe technique de Vetek Semiconductor vous fournira une consultation technique complète et des solutions de produits. Choisir notre pagaie en porte-à-faux sic signifie choisir une efficacité de production plus élevée, une durée de vie de l'équipement plus longue et un meilleur rendement produit. Dans l'attente de votre nouvelle consultation.