Board à colonne verticale et piédestal

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Le bateau à la colonne verticale de la colonne verticale de Vetek et le piédestal peuvent fournir un support fiable dans des températures extrêmes et des environnements chimiques durs, et est donc largement utilisé dans l'équipement de traitement des semi-conducteurs, garantissant la précision et la stabilité de la technologie de traitement des semi-conducteurs.

Le rôle spécifique du bateau à plateau et piédestal de colonne verticale dans le traitement des semi-conducteurs estcomme suit:

Fournir un support et un positionnement de la plaquette de haute précision:

La conception de la plaquette à colonne verticale et du piédestal garantit que la plaquette est soutenue avec précision et de manière stable dans la direction verticale. Grâce à un contrôle d'espacement précis et à une structure stable, ces composants peuvent effectivement empêcher la plaquette de se déplacer, de glisser ou d'être endommagée pendant le traitement ou le transport à haute température, garantissant un positionnement et un traitement précis de la tranche dans chaque liaison de traitement.

Optimiser le processus thermique et améliorer la cohérence du processus:

En raison de l'excellente conductivité thermique des matériaux de quartz et de sic, le bateau à plaquette et le piédestal à colonne verticale peuvent garantir que la chaleur est également transférée à chaque tranche pendant les processus de traitement thermique tels que la diffusion, l'oxydation et le recuit. Cette distribution de chaleur uniforme améliore considérablement la cohérence du processus de traitement, garantissant que chaque tranche peut répondre à des normes de fabrication strictes, améliorant ainsi le rendement des produits.

Résistant à la corrosion chimique et empêcher la contamination:

Le quartz de haute pureté et les matériaux SIC ont une excellente résistance à la corrosion chimique et peuvent rester stables dans des environnements chimiques à haute température sans libérer d'impuretés nocives. Cette caractéristique permet à la plaquette à colonne verticale et au piédestal d'empêcher efficacement les plaquettes de contaminer pendant le traitement, d'assurer la pureté élevée et la stabilité des performances du produit fini et la satisfaction des exigences strictes de l'industrie des semi-conducteurs pour la propreté et la pureté.

En tant que fabricant et fournisseur de premier plan de matériel de revêtement avancé pour l'industrie des semi-conducteurs chinois, Vetek Semiconductor s'engage à fournir aux clients des clientsTechnologie avancée et solutions de produits personnalisés. Nousespérez sincèrement devenir votre partenaire à long terme en Chine.

Propriétés physiques de base de la porteuse horizontale SIC:

It semi-conducteur Vertical Colonne Boat à plateau et ateliers de production de piédestal:

Aperçu de la chaîne de l'industrie de l'épitaxie des puces semi-conductrices: