Tube de four à diffusion sic

Diagramme schématique de travail du tube de fournaise de diffusion SIC

Vetek Semiconductor SIC Diffusion Furnace Tube a les avantages du produit suivant:

Excellentes propriétés mécaniques à haute température: Le tube du four à diffusion SIC possède les meilleures propriétés mécaniques à haute température de tout matériau céramique connu, y compris une excellente résistance et une résistance au fluage. Cela le rend particulièrement adapté aux applications nécessitant une stabilité à long terme à des températures élevées.

Excellente résistance à l'oxydation: Le tube de fournaise de diffusion SIC de Semiconductor Vetek a une excellente résistance à l'oxydation, le meilleur de toutes les céramiques non oxyde. Cette propriété garantit une stabilité et des performances à long terme dans des environnements à haute température, réduisant le risque de dégradation et prolongeant la durée de vie du tube.

● Force de flexion élevée: Le tube de la fournaise de diffusion Veteksemi SIC a une résistance à la flexion de plus de 200 MPa, garantissant d'excellentes propriétés mécaniques et une intégrité structurelle dans les conditions de contrainte élevées typiques des processus de fabrication de semi-conducteurs.

● Excellente résistance à la corrosione: L'inertie chimique du tube de fournaise SIC offre une excellente résistance à la corrosion, ce qui rend ces tubes idéaux pour une utilisation dans les environnements chimiques durs souvent rencontrés dans le traitement des semi-conducteurs.

● Résistance à l'usure élevée: Les fours à tube SIC ont une forte résistance à l'usure, ce qui est essentiel pour maintenir la stabilité dimensionnelle et réduire les exigences d'entretien lorsqu'ils sont utilisés pendant de longues périodes dans des conditions abrasives.

● avec revêtement CVD: Vetek Semiconductor Chemical Vapor Deposition (CVD) Le revêtement SIC a un niveau de pureté supérieur à 99,9995%, un contenu d'impureté inférieur à 5 ppm et des impuretés métalliques nocives inférieures à 1 ppm. Le processus de revêtement CVD garantit que le tube répond aux exigences strictes d'étanchéité du vide de 2-3TORR, ce qui est essentiel pour les environnements de fabrication de semi-conducteurs de haute précision.

● Application dans les fours de diffusion: Ces tubes SIC sont conçus pour les fours de diffusion semi-conducteurs, où ils jouent un rôle clé dans les processus à haute température tels que le dopage et l'oxydation. Leurs propriétés de matériaux avancés garantissent qu'ils peuvent résister aux conditions difficiles de ces processus, améliorant ainsi l'efficacité et la fiabilité de la production de semi-conducteurs.

Vetek Semiconductor s'est longtemps engagé à fournir des technologies de pointe et des solutions de produits pour l'industrie des semi-conducteurs et soutient des services personnalisés professionnels. En choisissant le tube de fournaise de diffusion SIC de Semiconductor de Vetek, vous obtiendrez un produit avec d'excellentes performances et une grande fiabilité pour répondre aux différents besoins de la fabrication moderne des semi-conducteurs. Nous espérons sincèrement être votre partenaire à long terme en Chine.

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