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Bateau à quartz semi-conducteur
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Bateau à quartz semi-conducteur

Dans le processus de semi-conducteur, le transport des plaquettes est particulièrement important. Les bateaux en quartz semi-conducteurs sont très bons pour transporter des plaquettes et conviennent à des processus tels que la diffusion, l'oxydation et les MCV. Vetek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et fournisseurs de bateaux de quartz semi-conducteurs en Chine, et est capable de fournir aux clients des produits hautement personnalisés.

Le bateau en quartz semi-conducteur est un produit de quartz de haute pureté utilisé dans le processus de fabrication de semi-conducteurs. Sa fonction principale est de transporter et de transférer des tranches dans des fours à haute température. Il est largement utilisé dans les industries de précision telles que les semi-conducteurs, l'optoélectronique et les LED. Convient à la diffusion, à l'oxydation, aux MCV et à d'autres processus.


Semiconductor quartz boat working diagram

Caractéristiques du produit:


Pureté élevée: Le bateau à quartz semi-conducteur utilise un matériau de quartz de haute pureté avec un contenu à impureté extrêmement faible, évitant efficacement la pollution par les ions métalliques, et convient aux exigences de l'environnement propre des processus semi-conducteurs.


Résistance à haute température: Il a une excellente résistance à haute température et peut être utilisé de manière stable pendant longtemps dans un environnement jusqu'à 1200 ℃.


Résistance à la corrosion: Il a une bonne résistance à la corrosion à la plupart des réactifs chimiques tels que les acides et les alcalis, il peut donc s'adapter à l'environnement chimique dans des équipements semi-conducteurs tels que les fours CVD.


Bonne stabilité thermique: Coefficient de dilatation thermique faible, pas facile à déformer lorsqu'il est chauffé, adapté aux processus de chauffage et de refroidissement fréquents.


Paramètres
Caractéristiques
Matériel
Quartz de haute pureté
Diamètre extérieur
Personnalisé selon les besoins
Longueur
Personnalisé selon les besoins
Stabilité thermique
Fonctionnement stable à 1200 ° C

quartz boat for furnace

Caractéristiques


• Améliorer l'efficacité de la production: conception compacte, transfert facile à plaquettes et capacité de processus améliorée.


• Réduire le risque de contamination: Matériau de quartz de haute pureté, réduisant la contamination par impureté des traces dans le processus.


• Longue vie et durabilité: une résistance à haute température et à la corrosion, adaptée à une utilisation à haute fréquence, en réduisant les coûts de remplacement.


Vetek Semiconductor s'engage à fournir aux clients des produits de transporteur de quartz de haute pureté de haute qualité. Tous les produits sont strictement contrôlés de qualité pour s'assurer qu'ils répondent aux normes élevées de l'industrie des semi-conducteurs.


Semiconductor quartz boat

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